GP200シリーズの金属シール型・圧力ベースのマスフローメータ（P-MFC）動作原理を動画で解説しております。（英語） https://www.youtube.com/watch?v=ZWB03A_9fo8 動画チャプター 00:00　Brooks Instrumentとは 01:00　従来型圧力ベースMFCとは 02:10　GP200圧力ベースMFCの紹介 03:30　GP200 MFCの利点 03:50　GP200 MFCの圧力計測方法 04:45　GP200の優位性 この圧力ベースのマスフローメータは、従来型の圧力ベースMFCが抱える制約を克服し、プロセス性能を大きく向上させる独自の設計を採用しています。

GP200シリーズは、半導体用途専用に設計された、初めての完全圧力非感応型PMFCです。GP200の独自の差圧技術と最先端のセンサー・バルブ構成により、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの限界を取り除き、業界で最も広範囲かつ正確なプロセスガスコントロールを可能にします。 Brooksは世界で初めてガス種と流量範囲の再設定が可能なMFCを開発し、リリース以降もガスモデルを刷新し続けており、同じ機能がGP200にも組み込まれています。多くのガス種と幅広い流量範囲への再設定を容易に行うことができ、幅広いプロセスに柔軟に対応します。 GP200の超高速で再現性の高いバルブコントロールと圧力変動耐性により、極端に供給圧力が変動した場合でも、チャンバーへの精密な流量制御を維持し、よりタイトなプロセス制御を可能にします。GP200プラットフォームは幅広いプロセス条件をサポートし、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの多くを交換または、アップグレードすることが可能です。

SLA5800シリーズ サーマル式マスフローコントローラ/メータは、優れた精度・安定性・信頼性により、広く標準機器として採用されています。 本シリーズは広範囲な流量測定レンジを備え、多様な温度・圧力条件に対応しているため、化学・石油化学分野の研究をはじめ、分析機器、燃料電池、ライフサイエンスなど、幅広い用途に適しています。 掲載内容 ■特長・利点 ■標準仕様 ■製品寸法 ■モデルコード ■承認・認証およびサービス ■サービスとサポート 他

新しいQuantim QMC コリオリ式流量計（第3世代）は、微少流量の気体や液体の測定と制御のアプリケーションに最適です Quantim(R) QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、微少流量の気体や液体に対して極めて正確で安定した、再現性のある測定と制御を実現します。この第3世代の新しいQuantim QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、プロセスの品質、生産の歩留まり、スループットを高めることで、ラボからパイロットプラント、生産までのスケールアップ期間の短縮に貢献します。 新しいQuantim QMC コリオリ式マスフローのシリーズは、ブルックスインスツルメントのQuantim 旧モデルと取付寸法、機能面で互換性があります。 用途 ■ 触媒研究 ■ 化学パイロットプラントにおけるマスバランス計算 ■ 気化機へのプリカーサ供給 ■ 精密コーティング ■ 高精度充填ステーション ■ 定量ポンプのフィードバック/制御ループ ■ 真空プロセス ■ 半導体ウェーハプロセス

Quantim QMC コリオリ式流量計（第3世代）で採用されている動作原理を動画で解説しております。（英語） https://www.youtube.com/watch?v=_BXWlSn3Q_I 動画チャプター 00:00　Brooks Instrumentについて 00:16　コリオリ質量流量計の動作原理 00:27　運動量保存の法則 00:40　角運動量保存の法則 00:52　コリオリ質量流量計の基本構造 01:07　電源の投入方法 01:23　高い安定性を誇るセンサー構造 01:40　自然周波数で振動するセンサーチューブ 02:14　センサーチューブの位相差検出 02:59　電子回路による信号処理 03:08　プロセス流量の測定方法 03:47　回路基板の役割 03:58　高度なアラームと診断機能とは 04:22　校正について ＜コリオリ式流量計がもたらす主な利点＞ ■プロセスの品質、歩留まり、生産性を向上 ■研究室からパイロットプラント、さらに製造ラインへのスケールアップ時間を短縮 ■総所有コスト（TCO）の削減