ITWジャパン株式会社 公式サイト

持続可能な未来を支える「ソリューション」

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！

【その他の特長】 ■ツールの通信系から独立した、アクセスしやすい診断サービスポートを搭載 　Brooks Expert Support Tool と MultiFlo Configurator の2種類の弊社専用ソフトウェアに対応 ■耐腐食性センサにより、最大級の稼働率とスループットを保証するセンサの長期安定性を提供 ■DeviceNet、EtherCAT、Profibus、RS-485/アナログインターフェースなど、 　豊富な通信オプション ■ユーザー様の所有するガス種と流量レンジが固定されたMFC/MFMの予備品や在庫の削減 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

最高の性能を最大限に引き出す！先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー

※詳しくはお問合せください。

耐久性に優れた製品を多数ラインアップ。修理メンテナンスなども対応可能。バイオ・EPC・薄膜業界へのアプローチを紹介した資料進呈

【装置の用途例】 ◎太陽電池関連　◎半導体関連　◎医療機器関連　◎遠心分離機 ◎ろ過スキッド　◎発酵槽　◎各種コーティング　◎フィル＆フィニッシュ ◎バイオリアクター（添加剤供給）　ほか ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

第3世代の新しいQuantim QMC コリオリ式流量計は、微少流量の気体や液体の測定と制御のアプリケーションに好適です

【その他の特長】 ■プロセスの組成や条件を変更しても、その度に測定システムを変更したり、再校正したりする必要はありません。 ■オールステンレス製のQuantim QMCは 幅広いプロセス流体に適しています。 ■2.5mmジャックプラグからQMC本体へアクセス可能なサービスポートを搭載しており、無償でダウンロード可能なブルックスエキスパートサポートツール（BEST）ソフトウェアと組み合わせることで、プロセスのモニタリングと予知保全を強化するための内蔵アラームや診断機能を使うことができます。これらの機能は設置場所へのインストールを簡素化するだけでなく、トラブルシューティングや校正もサポートしています。 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高圧ガス保安協会（KHK）の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略化。国内防爆（JPEx）の型式検定合格証も取得

＜KHK認証取得品のメリット＞ 高圧ガス設備は都道府県知事(または市町村長)への許可申請・検査申請・届出等の行政手続きが必要です。 この行政手続きには必要書類の準備と設備試験などの煩雑な手続きが必要ですが、 KHKが発行した高圧ガス設備試験成績証明書を提出するだけで行政手続きが完了します。

ターゲット化されたアプリケーション向けのコスト効率の高いガス流量測定のご紹介です！

【その他の特長】 ■マスフロー測定 - 温度または圧力補正が必要ない ■ほとんどのアプリケーションに対応 ■可動部がない高耐久性ステンレス構造で、耐腐食性が高く、長期安定性を実現 ■ほとんどのプロセス/テストガスに対応 ■シンプルでコストのかからない据え付け ■電子出力信号による流量表示、傾向表示、総合計表示 ■面積式流量計からアップグレードする際の第一候補 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

実証された長期安定性！高温アプリケーション向けの超高清浄性能をご提供いたします

【その他の特長】 ■平常時クローズドバルブ（平常時オープンバルブのオプションもあり） ■電動式バルブオーバーライド ■低コマンド流量カットオフ ■TTl準拠の「バルブオフ」機能 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

厳しい環境にも対応する耐久性！優れた精度を実現する精密マスフローコントロール

【その他の特長】 ■高耐久性のデバイス筐体により、厳しい条件でも高いプロセス精度と制御を実現 ■独自のサーマルセンサテクノロジーにより、低セットポイントにおけるS/N比を改善 ■センサの長期安定性により、メンテナンスや定期的な再キャリブレーションの必要がない ■デバイス1台で、最大6種類までキャリブレーションのプログラムが可能 ■ユーザーがアクセスしやすいサービスポートを搭載し、取り付け、 　トラブルシューティング、診断作業を簡素化 ■グローバルスタンダードに基づいた高性能の計測システムやキャリブレーションにより、 　高い精度を実現 ■数種類のプロトコル通信インターフェースにより、既存システムへの組み込みを合理化 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答！幅広い種類の非腐食性ガスに適しています

【その他の特長】 ■幅広い種類の非腐食性ガスに好適 ■高速応答時間により、プロセスのレシピ変更でも迅速なステップを確保 ■OEMに好適 ■ユーザーの要件に合わせられる、さまざまな通信オプション ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

長期安定性に優れ、生産の的確性を維持！信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います

【その他の特長】 ■幅広いプロセスとアプリケーション範囲で実証済みの長期安定性と精度 ■信頼性の高いパフォーマンスにより優れた投資利益率を提供 ■連続監視とガス圧の最調整が必要ない取り外し可能な流量センサ ■アナログ専用入力/出力により、取り付けとサービスが容易 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

1台のデバイスで複数のガスに対応するマスフローコントローラ/メータ。最大4台まで接続できるコンパクトなリードアウトユニットも紹介

【その他の特長】 ◎『GF40シリーズ』 ■センサー材質はハステロイのため、流量測定の長期安定性と機器の長寿命を両立 ◎『0254』 ■チャンネル毎にアナログI/Oの電圧と電流を個別に設定することも可能 ■『GF40』以外の弊社製品との組み合わせでも使用可能 ■1台用の『0251』も提案可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

すべてを可能にするMFC

【メリット】 ■半導体業界の標準に合わせた連続テストを実行した高性能部品 ■パージ時におけるドライダウン時間を短縮 ■新しいプロセスガスおよび/またはレンジを60秒以下で設定可能 ■ブランドを含むメタルシールMFCの不意の置き換えやアップグレードにも対応 ■便利なユーザー表示と独立した診断/サービスポート　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーしています！

【ラインアップ】 ■気体・液体用マスフローコントローラ ・SLA5800シリーズ IP40-汎用マスフロー ・GF40 シリーズ コンパクトマスフロー ・GF100 シリーズ 高純度マスフロー ・Quantim コリオリマスフロー ■真空・圧力計測と制御 ・XacTorr シリーズ キャパシタンスマノメータ ・VersaTorr シリーズ ピラニ真空トランスデューサ ・SolidSense II プレッシャートランスデューサ ・SLA シリーズ プレッシャーコントローラ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

80カ国以上において70年以上にわたるグローバルな実績があります！

【その他の特長】 ＜MT3750 シリーズ 金属管面積式流量計＞ ■高圧の流体や危険な流体を扱う小流量アプリケーションに使用 ■コンパクトな設計 ■4～20 mA 出力信号 ■ガラス管面積式流量計からのアップグレードに好適 ＜GT1600 シリーズ ガラス管面積式流量計＞ ■GT1000、GT130x、Full-Viewモデルからの置き換えが可能 ■安全性、屋内外での耐久性を確保する高品質な材質を採用 ■透明な目盛で読みやすい ■インジケータ面はポリカーボネート製のシールドで安全性を確保 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます！

【特徴】 ■フルスケール流量：最大50 lpm ■最大圧力： 30 MPa ■卓越したバルブテクノロジーでリークを低減し、ターンダウンを最大限に高めています ■リモートトランスデューサを搭載したSLA5840は、圧力制御と流量測定の利点を兼ね備えています ■取り付け時の損傷を防ぐ耐久性の高いメタル製トップカバー ■デバイスの設置環境下でもアクセスしやすい、診断/サービスポートを搭載 ■アナログ、デジタルインターフェースなど、豊富な通信オプション

コリオリ式マスフローや当社初の圧力式マスフローコントローラなどもラインアップ

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信頼できる製品、専門性の高いサービス！機器を“新品同様の状態”に再生します！

【標準的なファクトリーサービス】 ■校正 ・製造工程で使用される標準的な方法と設備で再校正を行う ■仕様変更 ・既存の機器を新しいアプリケーションに転用できるように仕様変更(改造) ■修理 ・故障した機器を“新品同様の状態”に再生 ■アップグレード ・より高度なデジタルプロトコルへのアップグレードや、 　旧型モデルを更新することで新機種の機能を搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。