マスフローコントローラ/メータ『4800シリーズ』
スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答！幅広い種類の非腐食性ガスに適しています
『4800シリーズ』は、応答時間が向上するに従って、プロセスの効率と生産性 も向上するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 高度なMEMS式サーマルセンサは、コントロールバルブへの応答に最適化された 専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、 当製品は実流量を高速で追従させることができます。 【特長】 ■流量応答時間（セトリングタイム） 0.75秒以下 ■革新的MEMSセンサおよび専用PIDアルゴリズム ■通常のサーマル式MFCの半分で、コンパクトなサイズ ■RS-232によるデジタル対応 ■オプションのローカルオペレーターインターフェース（LOI）で セットアップと操作を合理化 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】 ■幅広い種類の非腐食性ガスに好適 ■高速応答時間により、プロセスのレシピ変更でも迅速なステップを確保 ■OEMに好適 ■ユーザーの要件に合わせられる、さまざまな通信オプション ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
型番・ブランド名
モデル 4850 / 4860
用途／実績例
【用途】 ■熱処理、カッティング/溶接、サーマルプロセス ■ソーラー/薄膜物理蒸着（PVD）システム ■試薬、キャリブレーション、サンプルガス流量の測定と制御を行う解析デバイス ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（3）
カタログをまとめてダウンロード
この製品に関するニュース（2）
-
持続可能な未来を支えるブルックスインスツルメントのソリューション
エネルギー革新における精密制御の実現 水素、燃料電池、CCUS、バイオ燃料、CNT製造。未来のエネルギーを支える 現場には、正確な流れを見守る技術があります。 ブルックスインスツルメントの流量計が、エネルギートランジションを支えます。 https://mono.ipros.com/product/detail/2001538519/
-
『レガシー（Legacy）』と呼ばれる古いマスフロ― サポートのご提案
ブルックスインスツルメントは、右の「Brooks MFCの系譜図」中の、タイランジェネラル（Tylan General）、マイクロリス（Mykrolis）、インテグリス（Entegris）、ユニット（UNIT）、キネティックス（Kinetics）、セレリティー（Celerity）等、様々なメーカーが過去販売しておりましたマスフローのすべてのサポートを行っております。その数は市場のLegacyマスフロ―全体のおよそ8割にものぼります。 お客様のご要望に従い、あるケースでは修理を、そしてまたあるケースでは弊社のベストセラーマスフローである GF120やGF125 への置き換えを、ご提案させていただいております。既にこれらLegacyからのGFシリーズへの置き換え実績は2万台を超えております。 「Brooks MFCの系譜図」で登場しましたLegacyマスフロ―ほぼ全機種からの置き換えが可能です。 Legacyマスフロ―の修理や代替品置き換えでお困りの際はぜひ弊社営業部に一度ご相談ください。
取り扱い会社
当社は、重工業、石油・ガス精製、化学や石油化学の研究、薬品薬剤や生物医薬品の生産、また、太陽電池、LED、薄膜、光ファイバー、半導体の製造装置など、さまざまな分野でご利用いただく製品をご提供しております。 プロセスの制御、正確な測定を行える環境設定に貢献することで、お客様側のプロセスの精度が高まり、常にお客様が競争力を発揮できるよう寄り添い切磋琢磨しながら、ビジネスの発展と成長を遂げてまいりました。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。
