IoTという言葉を聞いて、「なにが出来るのか？」「なにが必要か？」という疑問をお持ちの方も多いのではないでしょうか。 デジタル通信により、従来のアナログ制御では知り得なかった流量センサー、バルブ、基板、異常のモニターなど様々な情報を得ることが出来ます。例えば、バルブ開度をモニターすることにより、設備の閉塞、積算流量からリークを知ることが出来ます。これらの情報は、継続して長期間モニター・知見ベースの管理を行うことでダウンタイム低減と品質向上に直結します。 対応機種は、従来の0-5VDCや4-20mAなどのアナログ制御に加えてRS485でのデジタル通信を有しているモデルもあります。（旧モデル58xxS、MfxxSシリーズ、SLA58xxS、SLAMfxxSシリーズ）デジタル通信未対応の古い機種でも、最新モデルのマスフローに置き換えることにより、デジタル通信化が可能です。新旧モデルの面間寸法は同じで、配線の変更は不要です。また、マスフローからのデータ収集用のコントロールボックスのご提供も可能です。大規模な設備の変更をすることなく「見える化」されたスモールIoTが実現します。

サーマルマスフローをご使用いただくに当たり、その測定原理をご理解いただくことは非常に重要です。高精度かつ安定したプロセス条件の設定はもちろんの事、トラブルの解決や早期発見に非常に有益です。 センサーはチューブ中央に配置されたヒータHとその両側に等距離に配置された温度センサーT1とT2で構成されています。ヒータには適正にコントロールされた電力が常時供給されて発熱しています。センサーチューブ内に流れがないときにはヒータからの熱が温度センサーT1とT2に平等に伝わるため両者は同じ温度となります。しかしセンサーチューブ内に図の矢印方向（順方向）の流れがある場合は、流体が熱を運ぶためT1の部分では熱が奪われて温度が低下し、T2の部分では熱をもらって温度上昇します。 ここで結果として生じるT1とT2の温度差はセンサーチューブ内の流体の質量流量の関数となります。これを適正に処理して質量流量を表わす電気信号として出力します。（一部を抜粋してご紹介しております。） https://www.youtube.com/watch?v=XKpX3rrt1qc [ITWジャパン株式会社ブルックスインスツルメント]

GF40シリーズは、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したマスフロー コントローラ/メータです。本機能はご購入時のガス種やフルスケールを MultiFlo(TM)コンフィギュレータ（専用のソフトウェア）を使用すること で数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能です。変更可能なガス種 とレンジはFloComデータベースを参照ください。 ▽FloComデータベース（xls形式ファイル） https://cdn.brooksinstrument.com/-/media/brooks/documentation/products/accessories-and-software/software/multiflo-configurator/flocom-database-db220418---gf40-gas-listing.xls 100種類以上の実ガスデータを搭載した高精度なGF40シリーズを、 ユーザー様のご用途に合わせてカスタマイズをしてご活用下さい。

プラスチックには適さない高圧や高温の液体や気体の流量を測定する 場合、当社の堅牢な「ガラス管式面積式流量計（ローターメータ）」を 使用すれば、より正確な流量を測定することが可能です。 より幅広い流量レンジができ、様々な液体や気体に適しています！ 【特長】 ■ガラス管面積式流量計 ・高い耐久性・エコノミー・操作性に優れた流量計測技術 ・より幅広い流量レンジが可能であり、様々な液体や気体に適している ■金属管面積式流量計 ・高圧・過酷な温度環境下での使用に耐える耐久性と精度 【ラインアップ】 ■ガラス管面積式流量計 ・Sho-Rate モデル1350, 1355, 1358 ・GT1600 シリーズ ■金属管面積式流量計 ・MT3750 シリーズ ・MT3809 シリーズ ▼詳しくはこちら https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/variable-area-flow-meters

二次電池材料、バイオ、表面処理の製造工程や各種評価装置、EPC業界などで使用される流量・圧力測定機器は、用途に適した機能や精度を満たしていることはもちろん、安心して長期間お使いいただける耐久性も重要です。 ITWジャパンでは、気体用のマスフローメータ/コントローラやプレッシャーコントローラ、トランスデューサなど、長期安定性に優れた『流量・圧力計測機器』、微小流量の液体の高精度な制御と測定に適した『コリオリ流量計』、EPC業界で豊富な実績を持つ『金属管面積式流量計』、汎用性が高く耐久性と費用対効果に適した『ガラス管面積式流量計』を取り扱っております。 弊社の製品を長くお使いいただくために、校正や修理メンテナンスは国内サポートに加えて、海外拠点でも対応しております。 【装置の用途例】 太陽電池関連 / 半導体関連 / 医療機器関連 / 遠心分離機 / ろ過スキッド / 発酵槽 / 各種コーティング / フィル＆フィニッシュ / バイオリアクター（添加剤供給）他 ▼資料ダウンロードはこちら 　https://www.ipros.jp/product/detail/2000744379

圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます！ オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』は、豊富なオプションと機能を備えています。 SLA/SLAMfシリーズ マスフローコントローラおよびメータと組み合わせることで、シングルプラットフォームの利点である、制御（プロセス）に一貫性を持たせることができます。 SLA/SLAMfシリーズは、国際標準にトレーサブルな一次流量校正システムを使用しており、当社の優れた計測システムおよび手法に基づき、高精度、ゼロ点の長期安定性、優れた再現性を特徴としています。 用途 ■ 薄膜プロセス ■ 化学および石油化学の触媒研究およびパイロットプロセス ■ ラボおよび解析システム ■ 燃料電池テクノロジー ■ ライフサイエンスバイオリアクタ

H2 & FC EXPO 水素燃料電池展（SMART ENERGY WEEK 春）出展に 合わせてご紹介しましたパネル資料です。 ■ ワイドな流量範囲/圧力条件とデジタルI/Oに対応 ■ 証明書と認証 ■ アプリケーション こちらよりご覧ください。 https://www.ipros.jp/catalog/detail/752600 関連カタログからもご覧いただけます。

【新製品情報】 コリオリ式マスフローコントローラ/メータ『QMCシリーズ』 GF120xHTシリーズ メタルシール仕様『高温用マスフローコントローラ』 ★【パネル資料】にて特長をご確認ください！ オンラインでの説明会も承ります。 ご興味ある方はお気軽にお問い合わせください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/about-us/contact

モデル GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126 『優れた応答速度や繰り返し性で、高清浄度・超高清浄度のプロセスガス供給を実現』 半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーションを想定して作られたGF100シリーズは、高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性を提供します。標準のMultiFlo(TM) テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。 用途 ■ 半導体エッチングツール ■ 薄膜化学蒸着（CVD）システム（CVD、MOCVD、PECVD、ALD） ■ 物理蒸着（PVD）システム ■ エピタキシャルプロセスシステム

長期安定性に優れ、生産の的確性を維持！信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います 『5850Eシリーズ』は、エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、現代の要求の厳しい工業生産プロセスに必要な信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います。 【特長】 ■取り外し可能な流量センサ ■取付姿勢の影響なし ■他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性 ■電動式バルブオーバーライド ■耐腐食バルブ

今、ご使用されているLegacyと呼ばれる古いマスフロ―の 修理や代替品の選定で、お困りではないですか？ この20年の間、市場では様々なメーカーのマスフロ―が販売され、それらの多くは今も現役で稼働しております。それらマスフロ―を取り扱っていたマスフローメーカーを、現在ブルックスインスツルメントが集約して、修理や代替品ご提案にて、全面的にサポートを実施していることをご存知ですか？ タイランジェネラル[Tylan General]、マイクロリス[Mykrolis]、インテグリス[Entegris]、ユニット[UNIT]、キネティックス[Kinetics]、セレリティー[Celerity]等、様々なメーカーが過去販売しておりましたマスフローのすべてのサポートを行っております。これは、今日の市場において、現役で活躍しているLegacyマスフロ―のほぼ8割にものぼります。 あるケースでは修理をそしてまたあるケースでは弊社のベストセラーマスフローであるGFシリーズへの置き換えをお客様のご要望にあわせてご提案しております。 Legacyマスフロ―の修理や代替品置き換えでお困りの際はご相談ください。

近年、高圧ガスを用いたプロセスが盛んになってきており、マスフローコントローラー・メーターの高圧ガス保安法対応に対するニーズが高まってまいりました。当社では2018年以降サーマルマスフローコントローラー（SLA5850）の高圧ガス設備試験(KHK認証)合格品を化学・石油化学業界を中心にご提供させて頂き納入実績を重ねてまいりました。 このたび、マスフローコントローラの設計圧力をボンベ圧でも使用可能な20MPaまで広げたことで今まで以上に豊富なアプリケーションに適用できるようになりました。 KHK認定品とは 高圧ガス保安協会(KHK) による高圧ガス設備試験に合格した製品で、高圧ガス設備試験成績証明書が添付されます。 KHK認定品のメリット 高圧ガス設備は都道府県知事(または市町村長)への許可申請・検査申請・届出等の行政手続きが必要です。 この行政手続きには必要書類の準備と設備試験などの煩雑な手続きが必要ですが、KHKが発行した高圧ガス設備試験成績証明書を提出するだけで行政手続きが完了します。

H2 & FC EXPO 水素燃料電池展（SMART ENERGY WEEK 春）出展に 合わせてご紹介しましたパネル資料です。 ■ 新製品(コリオリ式マスフローと高温用マスフロー) こちらよりご覧ください。 https://www.ipros.jp/catalog/detail/752705 関連カタログからもご覧いただけます。

GF40シリーズは、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したマスフローコントローラ/メータです。本機能はご購入時のガス種やフルスケールは専用のソフトウェアであるブルックスエキスパートサポートツール(BEST)を使用することで数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能です。 SLA5800シリーズは、微少流量（3sccm）から大流量（2500slpm）まで安定した流量制御をご提供することが可能なモデルです。弊社専用ソフト (BEST:Brooks Expert Support Tool) を使用いただくことによりお客様のプロセスにあったPID定数の変更や各種データをモニタリング（アラーム・バルブ開度等）することが可能です。 これらのデータはトラブルシューティングにも活用することが可能であり装置のダウンタイムの削減に貢献可能です。 ★ SLA5800シリーズ/ GF40と専用ソフトウェアの接続には有償の専用ケーブルが必要です。ブルックスエキスパートサポートツール(BEST)は、一部の機能を除いて無償でお使いいただけます。

モデル 5700 『ターゲット化されたアプリケーション向けのコスト効率の高いガス流量測定』 温度や圧力調整が必要なく、長期的に安定した流量測定を行うコンパクトで経済的なマスフローメータが必要なら、5700シリーズのサーマル式マスメータをお選びください。パージガス、プロセス解析、解析フロー測定のニーズを想定して作られており、タービンメータ、面積式流量計、その他の体積流量計に代わる電子出力信号を備え、コスト効率と安定性に優れています。 用途 ■ パージガス測定 ■ ガスおよび湿度分析器 ■ パーティクルモニタ ■ 医療/麻酔用酸素システム ■ 曝気/発泡システム

GF40シリーズは、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したマスフロー コントローラ/メータです。本機能はご購入時のガス種やフルスケールを MultiFlo(TM)コンフィギュレータ（専用のソフトウェア）を使用すること で数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能です。変更可能なガス種 とレンジはFloComデータベースを参照ください。 ▽FloComデータベース（xls形式ファイル） https://cdn.brooksinstrument.com/-/media/brooks/documentation/products/accessories-and-software/software/multiflo-configurator/flocom-database-db220418---gf40-gas-listing.xls 100種類以上の実ガスデータを搭載した高精度なGF40シリーズを、 ユーザー様のご用途に合わせてカスタマイズをしてご活用下さいませ。

抗体医薬品やワクチンを含む、バイオ医薬品の原薬製造工程において、ウイルスや細胞などを培養しスケールアップすることが目的となり、対象のウイルス・細胞などの生物が生きやすい環境を整えることが必要になります。そして、pH値や溶存酸素濃度をモニタしながら、空気、酸素、窒素、二酸化炭素の流量をMFCでコントロールすることで、最適な培養環境を維持できます。 弊社マスフローコントローラ（MFC）は、極低流量（3ssm）から大流量（2500slm）までの充実したラインナップにより、研究開発から量産設備まで国内外の多くの培養設備で実績を有しております。また、新製品であるバイオオプション仕様のMFCでは、従来のレンジアビリティ（フルスケールの2~100%）に対して、3~5倍のレンジ比を実現し、1台のMFCでより低流量の流量制御が可能となりました。 また、医薬・製薬業界で要求されるFDA/USP Class VI対応のエラストマー材料を使用することも可能です。

最先端半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と再現性が向上しています。 ＊ 1センサーで差圧を測定する事により. 流量精度再現性が飛躍的に向上します。 ＊ 幅広い圧力、ガス種、プロセスに対応します。 ＊ 最先端のバルブアーキテクチャーにより、 より正確で再現性の高い流量制御と応答性を実現します。 ＊ ゼロリークバルブにより、「ファーストウェハ効果」を排除します。

2019年7月よりBrooks汎用マスフローコントローラ製品群に、バイオプロセス専用マスフローコントローラが加わりました。 バイオプロセス専用に設計及び製造されたマスフローコントローラ ・大多数の一般産業（バイオプロセス含む）向けに実績がある 　SLAシリーズをベースとした特別製品 ・お客様のニーズを最適化する２つオプションパッケージにて展開 ・小流量から大流量まで幅広い流量コントロールに対応可能 　＝小容量から大容量バイオ槽に対応可能 お客様の要求に対して柔軟に対応 製品の特長 ＊メンテナンスコスト、導入コストの削減化 ＊製造リスクの低減化 ＊品質管理の強化 ２つのオプションパッケージ製品のご提案 １．パフォーマンスオプションパッケージ（多くのバイオプロセスに対応した専用マスフローコントローラ製品） ２．プレミアムオプションパッケージ（より厳格な要求事項に対応した専用マスフローコントローラ製品）

BROOKSは、コロナウイルスと戦う医療機器関連のお客様が必要とする装置の一つであるマスフローコントローラを迅速提供することに誇りを懸けて対応しております。 現在のような危機的状況下では、私たちは「何が重要であるか」に焦点を合わせ続ける必要があります。 ブルックスインスツルメントと例えばMaxtec社の様な救命用呼吸器関連医療機器メーカーとの関係は、コロナウイルスパンデミックの真っ只中において、かつてないほど重要になっています。私たちはMaxtec社をはじめとする、医療機器メーカーに対する世界中の医療関係者からの製品に対する需要増大に対応できるよう準備をしております。

1:250のターンダウンによりフルスケールの0.4%まで流量コントロールできるマスフローコントローラ(MFC)の導入により、従来2台必要であったMFCが1台で完結するシステム構築が可能になります。 EtherNet/IP およびPROFINET プロトコルを搭載したSLAシリーズは、高度な診断ツールとともに、これらの大型パッケージに簡単に含めることができます。より古いPLCおよびDCSシステムは、お客様が重要なプロセス関連の決定を監視し、行うために、流量およびセットポイント(PV)を提供します。ブルックスインスツルメントの高度な診断は、リアルタイムでモニターできる多くの予測、トレンド分析、信頼性駆動のパラメータ・ソリューションを提供しております。 MFCへのチョークフロー、バックスチーミング、キャリブレーションの経時変化、総流量は、いずれも監視可能な貴重なパラメータの一例です。これらのプロトコルを実施することで、Siemens、Delta-V、Rockwell Automation PLCシステムの起動とアクセスを迅速に行うことができます。

ブルックスインスツルメントは、右の「Brooks MFCの系譜図」中の、タイランジェネラル（Tylan General）、マイクロリス（Mykrolis）、インテグリス（Entegris）、ユニット（UNIT）、キネティックス（Kinetics）、セレリティー（Celerity）等、様々なメーカーが過去販売しておりましたマスフローのすべてのサポートを行っております。その数は市場のLegacyマスフロ―全体のおよそ8割にものぼります。 お客様のご要望に従い、あるケースでは修理を、そしてまたあるケースでは弊社のベストセラーマスフローである GF120やGF125 への置き換えを、ご提案させていただいております。既にこれらLegacyからのGFシリーズへの置き換え実績は2万台を超えております。 「Brooks MFCの系譜図」で登場しましたLegacyマスフロ―ほぼ全機種からの置き換えが可能です。 Legacyマスフロ―の修理や代替品置き換えでお困りの際はぜひ弊社営業部に一度ご相談ください。

最新のサポートソフトウェアはBEST(Brooks Enhanced Support Tool)で、この度最新バージョンの5.4.0.0をリリースいたしました。 基準器との流量の合わせ込み（校正）などの一部の機能のライセンスと、接続ケーブルは有償にてご提供しております。 まだブルックスのサポートソフトウェアをお使いでないお客様は、この機会にBESTのご使用をご検討下さい。サポートソフトウェアを使うことによって、マスフロー単体では不可能な様々な機能と利点をご提供しています。 ■マスフローの調整：ゼロ点、バルブ応答性の調整(PID調整) ■設定の変更：アラームの設定、入出力の設定 ■コントロールとモニタ：マスフローの設定ファイルの保存と復帰 ■各種診断機能：本体のLEDの点滅だけではわからない 　各種のエラー情報の確認 ■簡易操作：ソフトウェアからの流量、バルブ開度の制御 ■有料オプション機能：基準器との流量の合わせ込み（校正）、 　ターミナルコマンドのサポート 仕様、ライセンスの要件、操作方法については、お問い合わせください。

GT1600シリーズガラス管面積流量計は、プロセス流量確認が重要な工程において低流量および高流量のガスおよび液体アプリケーションにおいて、長期間のご使用に耐える性能と頑丈な筐体と設計を備えた新しいメーターファミリーです。 多用途でコストパフォーマンスに優れた流量計は、中程度の計量精度が要求される用途で一般的に使用されています。 ■選択されたモデルに応じて、通常の精度範囲は 　1％から10％のフルスケールです。 ■パージタイプのサービス、シールオイルシステム、 　ベアリングの潤滑および冷却水の表示に最適です。 GT1600シリーズの流量計は、既存のBrooks Instrument GT1000、GT1300、およびFull-View(R)1100シリーズのメーター（モデル1110、1114、1140、1144）の置換え・更新できるよう仕様構成できます。