蒸気供給モジュール『VDM300』
超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現
蒸気供給モジュール（VDM：Vapor Delivery Module）は、低温でも超高清浄な気化ガスを生成する電力効率の優れた設計が特長です。実証済みの蒸気供給技術を採用し、高度なデジタル制御と総合的な診断機能を備えています。 フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。実証済みのサーマル式マスフロー測定技術を基にしており、非過熱状態でも蒸気を生成し、純水による影響を排除するため、高い信頼性と清浄度の高い製造が行えます。独立したサービスポートと直観的なGUI（グラフィックユーザーインターフェース）により、ユーザーフレンドリーなデータロギングと診断機能を提供します。 【メリット】 ■実績と信頼性のあるサーマルマスフロー測定と制御技術を採用 ■さまざまな水供給圧にも対応 ■耐腐食処理を強化 ■クリーンな製造 ■アナログまたはデジタル通信を使用したツールインターフェース ■強化されたデータ収集またはトラブルシューティングのための ダイレクトインターフェース ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
基本情報
【特長】 ■流量レンジ：3 slpm(DIW蒸気) ■優れた流量精度を実現する直接水蒸気測定 ■プラント内純水供給装置に直接接続 ■最低温度（非過熱状態）でも動作可能 ■水洗および排水用に最適な設計 ■EtherCATデジタルコミュニケーション ■Brooks Expert Support Tool (BEST)グラフィカルインターフェース ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■シリコン半導体の金属エッチング後プロセス ■シリコン半導体メタルストリッププロセス ■低大気圧環境における超高清浄度加湿 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
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この製品に関するニュース（54）
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既存設備をスモールIoT化しませんか。なにが出来るのか？なにが必要か？
IoTという言葉を聞いて、「なにが出来るのか？」「なにが必要か？」という疑問をお持ちの方も多いのではないでしょうか。 デジタル通信により、従来のアナログ制御では知り得なかった流量センサー、バルブ、基板、異常のモニターなど様々な情報を得ることが出来ます。例えば、バルブ開度をモニターすることにより、設備の閉塞、積算流量からリークを知ることが出来ます。これらの情報は、継続して長期間モニター・知見ベースの管理を行うことでダウンタイム低減と品質向上に直結します。 対応機種は、従来の0-5VDCや4-20mAなどのアナログ制御に加えてRS485でのデジタル通信を有しているモデルもあります。（旧モデル58xxS、MfxxSシリーズ、SLA58xxS、SLAMfxxSシリーズ）デジタル通信未対応の古い機種でも、最新モデルのマスフローに置き換えることにより、デジタル通信化が可能です。新旧モデルの面間寸法は同じで、配線の変更は不要です。また、マスフローからのデータ収集用のコントロールボックスのご提供も可能です。大規模な設備の変更をすることなく「見える化」されたスモールIoTが実現します。
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『VDM300』脱イオン水蒸気デリバリーモジュールをリリース
先進的なストリップ、および金属エッチング後のパッシベーションプロセス向けに作られたVDM300は、フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。 VDM300の特長 １．流量レンジ：3 slpm(DIW蒸気) ２．優れた流量精度を実現する直接水蒸気測定 ３．プラント内純水供給装置に直接接続 ４．最低温度（非過熱状態）でも動作可能 ５．水洗および排水用に最適な設計 ６．EtherCATデジタルコミュニケーション ７．Brooks Expert Support Tool (BEST)グラフィカルインターフェース https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/about-us/news/2019/japan-pr201904-vdm300datasheet
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サーマルマスフローの測定原理動画のご紹介
サーマルマスフローをご使用いただくに当たり、その測定原理をご理解いただくことは非常に重要です。高精度かつ安定したプロセス条件の設定はもちろんの事、トラブルの解決や早期発見に非常に有益です。 センサーはチューブ中央に配置されたヒータHとその両側に等距離に配置された温度センサーT1とT2で構成されています。ヒータには適正にコントロールされた電力が常時供給されて発熱しています。センサーチューブ内に流れがないときにはヒータからの熱が温度センサーT1とT2に平等に伝わるため両者は同じ温度となります。しかしセンサーチューブ内に図の矢印方向（順方向）の流れがある場合は、流体が熱を運ぶためT1の部分では熱が奪われて温度が低下し、T2の部分では熱をもらって温度上昇します。 ここで結果として生じるT1とT2の温度差はセンサーチューブ内の流体の質量流量の関数となります。これを適正に処理して質量流量を表わす電気信号として出力します。（一部を抜粋してご紹介しております。） https://www.youtube.com/watch?v=XKpX3rrt1qc [ITWジャパン株式会社ブルックスインスツルメント]
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コリオリ式流量コントローラによる高信頼性・高精度な超臨界二酸化炭素の注入
ホットメルトエクストルージョン（HME）は、熱と圧力を加えてポリマーを溶かし、連続プロセスで型に押し出す方法です。HMEはプラスチック産業で広く応用されており、最近では医薬品の剤形やドラッグデリバリーシステムに使用されています。HME プロセスは、医薬品の有効成分 (API) をポリマーおよびその他の賦形剤と高温高圧で混合するために使用されます。押し出された材料は、カプセルへの充填や、錠剤への圧縮のために、マイクロペレットに切断または粉砕することができます。 ☆アプリケーションノートを公開中☆ 『コリオリ式マスフローメータを用いた超臨界CO2の高精度計測・制御によるドラッグデリバリーシステムの強化』 続きはこちら https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/blog/highly-reliable-accurate-coriolis-flow-meter-for-carbon-dioxide-injection [ITWジャパン株式会社ブルックスインスツルメント]
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MultiFlo(TM)コンフィギュレータで数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能『GF40シリーズ』Multifloマスフローコントローラ/メータ
GF40シリーズは、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したマスフロー コントローラ/メータです。本機能はご購入時のガス種やフルスケールを MultiFlo(TM)コンフィギュレータ（専用のソフトウェア）を使用すること で数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能です。変更可能なガス種 とレンジはFloComデータベースを参照ください。 ▽FloComデータベース（xls形式ファイル） https://cdn.brooksinstrument.com/-/media/brooks/documentation/products/accessories-and-software/software/multiflo-configurator/flocom-database-db220418---gf40-gas-listing.xls 100種類以上の実ガスデータを搭載した高精度なGF40シリーズを、 ユーザー様のご用途に合わせてカスタマイズをしてご活用下さい。
取り扱い会社
当社は、重工業、石油・ガス精製、化学や石油化学の研究、薬品薬剤や 生物医薬品の生産、また、太陽電池、LED、薄膜、光ファイバー、半導体の 製造装置など、さまざまな分野でご利用いただく製品をご提供しております。 プロセスの制御、正確な測定を行える環境設定に貢献することで、 お客様側のプロセスの精度が高まり、常にお客様が競争力を発揮できるよう 寄り添い切磋琢磨しながら、ビジネスの発展と成長を遂げてまいりました。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。
