蒸気供給モジュール『VDM300』
超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現
蒸気供給モジュール（VDM：Vapor Delivery Module）は、低温でも超高清浄な気化ガスを生成する電力効率の優れた設計が特長です。実証済みの蒸気供給技術を採用し、高度なデジタル制御と総合的な診断機能を備えています。 フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。実証済みのサーマル式マスフロー測定技術を基にしており、非過熱状態でも蒸気を生成し、純水による影響を排除するため、高い信頼性と清浄度の高い製造が行えます。独立したサービスポートと直観的なGUI（グラフィックユーザーインターフェース）により、ユーザーフレンドリーなデータロギングと診断機能を提供します。 【メリット】 ■実績と信頼性のあるサーマルマスフロー測定と制御技術を採用 ■さまざまな水供給圧にも対応 ■耐腐食処理を強化 ■クリーンな製造 ■アナログまたはデジタル通信を使用したツールインターフェース ■強化されたデータ収集またはトラブルシューティングのための ダイレクトインターフェース ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
基本情報
【特長】 ■流量レンジ：3 slpm(DIW蒸気) ■優れた流量精度を実現する直接水蒸気測定 ■プラント内純水供給装置に直接接続 ■最低温度（非過熱状態）でも動作可能 ■水洗および排水用に最適な設計 ■EtherCATデジタルコミュニケーション ■Brooks Expert Support Tool (BEST)グラフィカルインターフェース ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
価格帯
納期
型番・ブランド名
モデル VDM300
用途／実績例
【用途】 ■シリコン半導体の金属エッチング後プロセス ■シリコン半導体メタルストリッププロセス ■低大気圧環境における超高清浄度加湿 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
カタログ（4）
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この製品に関するニュース（4）
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ブルックス エキスパートサポートツール（BEST）
ブルックスエクスパートサポートツール『BEST(Brooks Enhanced Support Tool)』は、SLA58XXおよびSLAMfXXシリーズ専用の、高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラを制御するWindowsベースのアプリケーションソフトウェアです。このツールを使用することにより、セットアップ、設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション（別途ライセンスキーが必要）を含む機能を利用することができます。 デバイスの上部にある診断ポートとお使いのコンピュータを、専用ケーブルで接続してアクセスします。仕様、ライセンスの要件、操作方法については、お問い合わせください。 対応する製品は下記ページをご確認ください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/accessories-software/product-software/brooks-expert-support-tool ■現在公開中のバージョン V5.14.1.0 V5.12.0.0 V5.10.0.0
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【製品情報】蒸気供給モジュール『VDM300』
『超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現』 蒸気供給モジュール（VDM：Vapor Delivery Module）は、低温でも超高清浄な気化ガスを生成する電力効率の優れた設計が特長です。実証済みの蒸気供給技術を採用し、高度なデジタル制御と総合的な診断機能を備えています。 フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。実証済みのサーマル式マスフロー測定技術を基にしており、非過熱状態でも蒸気を生成し、純水による影響を排除するため、高い信頼性と清浄度の高い製造が行えます。独立したサービスポートと直観的なGUIにより、ユーザーフレンドリーなデータロギングと診断機能を提供します。 用途 ■ シリコン半導体の金属エッチング後プロセス ■ シリコン半導体メタルストリッププロセス ■ 低大気圧環境における超高清浄度加湿 詳しくはこちらをご覧ください https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/vaporization/vapor-delivery-modules/vdm300
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『VDM300』脱イオン水蒸気デリバリーモジュールをリリース
先進的なストリップ、および金属エッチング後のパッシベーションプロセス向けに作られたVDM300は、フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。 VDM300の特長 １．流量レンジ：3 slpm(DIW蒸気) ２．優れた流量精度を実現する直接水蒸気測定 ３．プラント内純水供給装置に直接接続 ４．最低温度（非過熱状態）でも動作可能 ５．水洗および排水用に最適な設計 ６．EtherCATデジタルコミュニケーション ７．Brooks Expert Support Tool (BEST)グラフィカルインターフェース https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/about-us/news/2019/japan-pr201904-vdm300datasheet
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『レガシー（Legacy）』と呼ばれる古いマスフロ― サポートのご提案
ブルックスインスツルメントは、右の「Brooks MFCの系譜図」中の、タイランジェネラル（Tylan General）、マイクロリス（Mykrolis）、インテグリス（Entegris）、ユニット（UNIT）、キネティックス（Kinetics）、セレリティー（Celerity）等、様々なメーカーが過去販売しておりましたマスフローのすべてのサポートを行っております。その数は市場のLegacyマスフロ―全体のおよそ8割にものぼります。 お客様のご要望に従い、あるケースでは修理を、そしてまたあるケースでは弊社のベストセラーマスフローである GF120やGF125 への置き換えを、ご提案させていただいております。既にこれらLegacyからのGFシリーズへの置き換え実績は2万台を超えております。 「Brooks MFCの系譜図」で登場しましたLegacyマスフロ―ほぼ全機種からの置き換えが可能です。 Legacyマスフロ―の修理や代替品置き換えでお困りの際はぜひ弊社営業部に一度ご相談ください。
取り扱い会社
当社は、重工業、石油・ガス精製、化学や石油化学の研究、薬品薬剤や生物医薬品の生産、また、太陽電池、LED、薄膜、光ファイバー、半導体の製造装置など、さまざまな分野でご利用いただく製品をご提供しております。 プロセスの制御、正確な測定を行える環境設定に貢献することで、お客様側のプロセスの精度が高まり、常にお客様が競争力を発揮できるよう寄り添い切磋琢磨しながら、ビジネスの発展と成長を遂げてまいりました。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。
