マスフローメーター/コントローラー
マスフローメーター/コントローラー
◆マスフローメーターについて 混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の測定が可能。±0.6% RD(16.7～100% FS)の正確な流量測定。10msの高速応答で流量変化にすばやく追従。 超微少流量(0.5SCCM)から大流量(12000SLPM)までの豊富な機種がラインナップ。現在納期約4週間。 ◆マスフローコントローラーについて 混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能。±0.6% RD(16.7～100% FS)の正確な流量計測。50ms-100msの制御応答。 超微少流量(0.5SCCM)から大流量(12000SLPM)までの豊富な機種がラインナップ。現在納期約4週間。
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ALICAT製品～12000SLPM：納期4～8週間／マスフロー
混合ガスを含め1台で98種のガスに対応。±0.6% RDの正確さで高速応答。コントローラーは50ms-100msの制御応答。
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ALICAT(アリキャット)社マスフローメーター・コントローラー
ALICAT社(アリキャット)製 微少流量(0.5SCCM)から大流量(12000SLPM)までラインナップ。双方向オプション。
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ALICAT マスフローメーター Ｍ（標準タイプ）：納期4週間
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ。双方向オプション対応。
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ALICAT マスフローメーター MS（腐食性ガス／冷媒ガス）
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ。双方向オプション対応。
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ALICAT マスフローメーター MQシリーズ（高圧タイプ）
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ。双方向オプション対応。
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ALICAT マスフローメーター（低圧力損失タイプ）納期約4週間
極めて小さな差圧で計測可能なマスフローメーター。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！双方向オプション対応。
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ALICATマスフローコントローラーMC（標準タイプ）納期4週間
混合ガスを含め98種のガスに対応。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。
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ALICAT マスフローコントローラーMCS（腐食性／冷媒対応）
混合ガスにも対応！アナログ出力、RS-232C通信・バックライト付き液晶表示器を標準搭載しています
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ALICATマスフローコントローラーMCQシリーズ（高圧タイプ）
最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。 耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。 混合ガスにも対応！
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ALICATマスフローコントローラ(低圧力損失タイプ)納期4週間
非常に小さな差圧で計測し、圧力損失が非常に小さく、低圧で使用する環境に最適なマスフローコントローラー。現在納期約4週間。
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ALICAT マスフローコントローラーMCEシリーズSEMI規格
SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT社製のマスフローコントローラー。
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ALICAT マスフローコントローラーMCVシリーズ （真空用）
MCV/MCVSシリーズ（真空用シャットオフバルブ搭載）のALICAT社製のマスフローコントローラー。
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ALICATマスフローコントローラーMCD（デュアルバルブ）
バルブ2基搭載し双方向制御が可能。加圧や負圧、真空引きでの制御が行えます。腐食性ガスや低圧力損失に対応したモデルもラインナップ。
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ALICAT バイオリアクター向け高精度マスフローコントローラー
アリキャット BIOシリーズ！ 信頼性、適応性、互換性のあるフローコントロール
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ALICAT OEM供給用小型ローコストマスフローコントローラー
BASISシリーズ！ 対応ガスはAirを含めて8種類。
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ALICAT ポータブルフローメーター MBシリーズ：納期4週間
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ。双方向オプション対応。
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