マスフローメーター/コントローラー
マスフローメーター/コントローラー
◆マスフローメーターについて 混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の測定が可能。±0.6% RD(16.7～100% FS)の正確な流量測定。10msの高速応答で流量変化にすばやく追従。 超微少流量(0.5SCCM)から大流量(12000SLPM)までの豊富な機種がラインナップ。現在納期約4週間。 ◆マスフローコントローラーについて 混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能。±0.6% RD(16.7～100% FS)の正確な流量計測。50ms-100msの制御応答。 超微少流量(0.5SCCM)から大流量(12000SLPM)までの豊富な機種がラインナップ。現在納期約4週間。
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ALICAT製品～12000SLPM：納期4～8週間／マスフロー
混合ガスを含め1台で98種のガスに対応。±0.6% RDの正確さで高速応答。コントローラーは50ms-100msの制御応答。
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ALICAT(アリキャット)社マスフローメーター・コントローラー
ALICAT社(アリキャット)製 微少流量(0.5SCCM)から大流量(12000SLPM)までラインナップ。双方向オプション。
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ALICAT マスフローメーター Ｍ（標準）納期4週間
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ。双方向オプション対応。
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ALICAT マスフローメーター MS（腐食性／冷媒ガス）
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までラインアップ。双方向オプション対応。納期6-8週間。
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ALICAT マスフローメーターMW（低圧力損失）納期4週間
極めて小さな差圧で計測可能なマスフローメーター。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！双方向オプション対応。
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ALICAT マスフローメーター MQ（高圧）
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までラインアップ。双方向オプション対応。納期6-8週間。
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ALICAT マスフローメーター MB(ポータブル) 納期4週間
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ。双方向オプション対応。
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ALICAT マスフローコントローラー MC（標準）納期4週間
混合ガスを含め98種のガスに対応。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。
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ALICAT マスフローコントローラーMCS（腐食性／冷媒ガス）
高速応答・高速制御を実現！混合ガス対応！アナログ出力、RS-232C通信・バックライト付き液晶表示器を標準搭載。納期6-8週間。
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ALICAT マスフローコントローラーMCQ（高圧）
最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。混合ガスにも対応！納期6-8週間。
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ALICATマスフローコントローラーMCW(低圧力損失)納期4週
非常に小さな差圧で計測し、圧力損失が非常に小さく、低圧で使用する環境に最適なマスフローコントローラー。
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ALICAT マスフローコントローラー MCE (SEMI規格)
SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT社製のマスフローコントローラー。納期6-8週間。
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ALICAT マスフローコントローラー MCV（真空）
真空用シャットオフバルブ搭載のマスフローコントローラー。混合ガス対応！バックライト付き液晶表示器を標準搭載。納期6-8週間。
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ALICAT マスフローコントローラー MCD（デュアルバルブ）
バルブ2基搭載し双方向制御が可能。加圧や負圧、真空引きでの制御が行えます。腐食性ガスや低圧力損失対応モデル有。納期6-8週間。
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ALICAT バイオリアクター向け高精度マスフローコントローラー
アリキャット BIOシリーズ！ 信頼性、適応性、互換性のあるフローコントロール。納期6-8週間。
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ALICAT 熱式流量計 小型ローコストマスフローコントローラー
BASISシリーズ！ 対応ガスはAirを含めて9種類。
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