ALICAT 熱式流量計 小型ローコストマスフローコントローラー
BASISシリーズ！ 対応ガスはAirを含めて9種類。
ALICAT（アリキャット）社の標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用し質量流量測定を行います。 9種類: Air, N2, O2, CH4, He, H2, Ar, CO2, N2O 流量: 100 SCCM - 100 SLPM 納期約4週間 ■100msの制御応答 ・PD制御により短時間で目標流量へ到達。流量変化にすばやく追従し、安定性のある流量制御を行います。 ・ウォームアップ時間は70ms。すぐの稼動が可能です。 ■アナログ出力/入力、RS-485通信を標準搭載 ・0-5VDC入力による制御流量の設定が可能です。 ・また現在流量を0-5VDCで出力。ロガーなどによる記録が可能。 ・RS-485を標準搭載。PLCなどによる一括監視が可能です。
基本情報
【ラインアップ】 ■MC/MCP/MCRシリーズ（標準タイプ） ■MCS/MCRSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MCW/MCRWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MCQ/MCRQシリーズ（高圧タイプ） ■MCV/MCVSシリーズ（シャットオフバルブ搭載） ■MCD/MCRDシリーズ（デュアルバルブ） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
MFC互換品 応相談
納期
用途／実績例
MFC互換品 納期約4週間
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取り扱い会社
・アリキャット製品 ■高性能マスフローメーター／コントローラー M/MCシリーズ ■低圧力損失 MW/MCWシリーズ ■腐食性ガス・冷媒ガス対応 MS/MCSシリーズ ■本質安全防爆仕様 IS-Maxシリーズ ■液体用 L/LCシリーズ ■真空用シャットオフバルブ搭載MCVシリーズ ■デュアルバルブMCDシリーズ ■圧力計／圧力コントローラーP/PC/PCDシリーズ ■本質安全防爆仕様 圧力計／圧力コントローラー IS-Proシリーズ ■バイオリアクター向け高精度フローコントロールBIOシリーズ ■液晶表示付コリオリCODAシリーズ ・イクイリバール製品 ■高性能背圧レギュレーター GS/GSDシリーズ ■サニタリー対応背圧レギュレーター FDシリーズ ■真空レギュレーター／真空バルブ EVRシリーズ ■高精度電子式圧力コントローラー HP-ERCシリーズ ■高純度・腐食性流体対応プレシジョン背圧レギュレーター ■ガス／液体プロセス向け高精度圧力制御ソリューション