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断面観察用超音波カッティング装置『CSX-100Lab』
「切る」「磨く」を一工程で行うことで断面カット作業時間の大幅短縮と高品質カットを実現!スキルレスで誰でも簡単に操作可能!
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高田工業所製超音波カッティング装置『CSX-400シリーズ』
SiC・LTCCなどの難切材からガラス・樹脂などの複合材など多様な材料の高品質・高効率切断を実現!
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高田工業所製超音波カッティング装置『CSX501』
全自動&装置機能UP&遠隔監視機能を搭載!ダイシング工程の生産性向上に貢献!
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高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置!
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高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置!
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高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』
クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄装置!
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高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』
ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自のジェットノズルで洗浄除去する装置!
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高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』
IPA蒸気による洗浄乾燥装置!デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのクリーン乾燥を実現!
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低熱膨張ゼロの合金材料 LEX ZERO(レックスゼロ)
究極の「熱膨張ゼロの合金材料 レックスゼロ」を筆頭に多彩な低熱膨張材、高強度鋳鋼、新制振鋼等取扱い
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Low Thermal Expansion Material
LEX Zero Thermal Expansion Material CTE = 0 (Zero)
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