レジスト剥離液・ドライエッチング残渣除去液『JELKシリーズ』 | 関東化学 - Powered by イプロス

レジスト剥離液・ドライエッチング残渣除去液『JELKシリーズ』

ＮＭＰ非含有のレジスト剥離液。バンプ形成時の厚膜レジスト剥離にも好適！

一般的なアミン系剥離液よりも剥離能力が高く、アルカリ現像タイプのネガレジストや厚膜のドライフィルムレジストに適用が可能です。また、各種金属材料に対してダメージが小さく、Al-Cu電極のリフトオフプロセスにも適用が可能です。さらに、Alドライエッチング後の残渣除去液としても使用が可能です。【特徴】 ■従来のアミン系剥離液では剥離困難なイオンインプラント後のレジストやドライフィルムレジストも剥離できます。 ■ヒドロキシルアミン、NMPを含みません。 ■IPAリンスは不要のため、水リンスのみで使用が可能です。 ※詳細は弊社HP又は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい

基本情報

□詳しくはPDF資料や弊社HPをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

詳細はお問い合わせください

納期

詳細はお問い合わせください

型番・ブランド名

JELKシリーズ

用途／実績例

＜適用分野・使用用途例＞＊イメージセンサー、メモリー、ロジックデバイス、化合物半導体、MEMS、電子部品、FPDなど＊高ドーズイオンインプラント後のレジスト剥離、SAP/MSAPのドライフィルムレジスト剥離、三次元実装（TSV）パターン形成時のレジスト剥離、Alドライエッチング後の残渣除去など

カタログ（2）

カタログをまとめてダウンロード

レジスト剥離液・残渣除去液『JELKシリーズ』

製品カタログ

このカタログにお問い合わせ

NMP代替レジスト剥離液『JELK-404』

製品カタログ

このカタログにお問い合わせ

取り扱い会社

関東化学株式会社

関東化学株式会社電子材料事業本部

特設サイト公式サイト

電話番号・住所

私達は先端規格をクリアするだけでなく、それ以上の水準の高純度試薬を開発・製造するオンリーワンメーカーであることを目指してきました。また、試薬だけでなく、半導体製造プロセス用の超高純度薬品の規格も、世界に先駆け私達が制定し、現在では世界中の半導体産業に不可欠な機能性薬品においてトップシェアを獲得しています。

製品・サービス一覧 (28)

おすすめ製品

レジスト剥離液

NMP代替レジスト剥離液『JELK-404』

関東化学株式会社電子材料事業本部

エッチング液

ルテニウムエッチング液『RECシリーズ』

関東化学株式会社電子材料事業本部

エッチング液

クロムエッチング液『Crシリーズ』

関東化学株式会社電子材料事業本部

エッチング液

チタンエッチング液『TIシリーズ』

関東化学株式会社電子材料事業本部

エッチング液

積層膜エッチング液『KSMFシリーズ』

関東化学株式会社電子材料事業本部

洗浄液

CMP後洗浄液『CMPシリーズ』

関東化学株式会社電子材料事業本部

金めっき液

Ni下地用シアンフリー置換金めっき液『Aurexel DP』

関東化学株式会社電子材料事業本部

金めっき液

マイクロバンプ形成用無電解金めっき液『Aurexel MD』

関東化学株式会社電子材料事業本部

エッチング液

銅エッチング液『GHP-3』『BTF-3』

関東化学株式会社電子材料事業本部

洗浄液

高純度くえん酸水溶液

関東化学株式会社電子材料事業本部

洗浄液

ガラス基板洗浄液『クレア635N』

関東化学株式会社電子材料事業本部

シリコーン樹脂溶解剤

シリコーン樹脂溶解剤『KSRシリーズ』

関東化学株式会社電子材料事業本部

エッチング液

銀エッチング液、銀ナノワイヤーエッチング液『SEAシリーズ』

関東化学株式会社電子材料事業本部

エッチング液

透明導電膜エッチング液(ポリ向け)『ITOシリーズ』

関東化学株式会社電子材料事業本部

洗浄液

ウェーハ用洗浄液『Frontier Cleanerシリーズ』

関東化学株式会社電子材料事業本部

エッチング液

透明導電膜エッチング液(アモルファス向け)『ITO-07N』

関東化学株式会社電子材料事業本部

試薬

【注目素材】単層カーボンナノチューブ

関東化学株式会社電子材料事業本部

洗浄液

有機EL材料洗浄液『OEL Clean シリーズ』

関東化学株式会社電子材料事業本部

エッチング液

金エッチング液『AURUMシリーズ』

関東化学株式会社電子材料事業本部

実験器具・装置(KOACH：興研株式会社製品)

空圧制御式　薬液供給装置『AID-S100』※特許出願中

関東化学株式会社電子材料事業本部

レジスト剥離液

レジスト剥離液・ドライエッチング残渣除去液『JELKシリーズ』

関東化学株式会社電子材料事業本部

実験器具・装置(KOACH：興研株式会社製品)

フロアーコーチ「KOACH Ex-F」（FERENA搭載）

関東化学株式会社電子材料事業本部

実験器具・装置(KOACH：興研株式会社製品)

フロアーコーチ　KOACH F 1050-F（FERENA搭載）

関東化学株式会社電子材料事業本部

実験器具・装置(KOACH：興研株式会社製品)

連続コーチ「KOACH R 1050-F」（FERENA搭載）

関東化学株式会社電子材料事業本部

実験器具・装置(KOACH：興研株式会社製品)

スタンドコーチ「KOACH C 900-F」（FERENA搭載）

関東化学株式会社電子材料事業本部

実験器具・装置(KOACH：興研株式会社製品)

テーブルコーチ「KOACH T 500-F」（FERENA搭載）

関東化学株式会社電子材料事業本部

試薬

新登場！高純度溶媒「Primepureシリーズ」

関東化学株式会社電子材料事業本部

エッチング液

アルミエッチング液『混酸Alエッチング液』

関東化学株式会社電子材料事業本部