洗浄液

洗浄液
半導体やFPD(フラットパネルディスプレイ)の製造プロセスにおいて、各種エッチング液、レジスト剥離液、洗浄液などの優れた機能を持つ特殊な薬品(機能性薬品)が使用されています。関東化学は、長年蓄積したノウハウとアイディアを活かし、各種機能性薬品の開発に積極的に取り組んでいます。
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ウェーハ用洗浄液『Frontier Cleanerシリーズ』
ウェーハの微粒子(パーティクル)及び金属不純物を除去。Siウェーハの他、SiCやGaNなどの化合物ウェーハの洗浄に好適です。
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高純度くえん酸水溶液
金属不純物を低減した高純度くえん酸水溶液!
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ガラス基板洗浄液『クレア635N』
ガラス基板上の微粒子や有機物の除去性に優れた、希釈使用可能な洗浄液!
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有機EL材料洗浄液『OEL Clean シリーズ』
メタルマスクや蒸着装置の内部部品などに付着した有機EL材料を容易に洗浄!
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CMP後洗浄液『CMPシリーズ』
金属不純物やパーティクルの除去性に優れた各種CMP後洗浄液
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