L型真空ベローズホットバルブ『IVBH』
ボディ外部とベローズ内部にヒータを内蔵！弁体・ベローズを加熱できる真空バルブです。副生成物付着が減少！
『IVBH』シリーズは、ベローズの動きに追従するスパイラルヒーターを 内蔵し、弁開・弁閉状態でも弁体及びベローズを加熱できるL型真空バルブです。 当バルブは外部ヒーターだけでなく、ベローズの内部から加熱することにより コールドスポットをなくし、副生成物付着を極力少なくすることが可能。 ＃副生成物対策 内部・外部ヒーターは個別のチャンネルを持ち、それぞれMax180℃まで 任意の温度で加熱することができます。 【特長】 ■長期リーク性能を維持する事が可能 ■可動時の生成物脱落が少なくなり、パーティクル発生が極力減少 ■ベローズの高耐久化を実現 ■接続フランジは「ISO KF」「JIS VF/VG」など各種接続に対応可能 ■オプションとして磁気近接開閉スイッチ・サーモスタットなどをご用意 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】 ■ヒーター・熱電対・サーモスタット（オプション）・磁気近接開閉スイッチ（オプション）の コードにご指定の接続コネクタを取り付けることが可能 ■固定用ブラケット・特殊面間・特殊フランジ・特殊材質（ボディ・ベローズ・シール材）・ エアー継手など特殊仕様に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
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取り扱い会社
KITZ SCTは、金属加工技術や溶接技術に加え、広々としたクリーンな環境スペース、超精密洗浄システム、そして独自に開発した超精密研磨技術など、極めて幅広い技術をクロスオーバーさせ、真空から高圧システムまでの各種半導体製造用配管部品の開発製造から販売サービスまで行っています。 また、ISO規格、高圧ガス認定をはじめとし、厳重な品質管理システムを取り入れ、素材の分析評価からプロセス/完成品に至るまでのあらゆる分析評価で総合的なクリーン化を目指し、常に時代のニーズにお応えしてまいります。
