真空フランジ ボールバルブ『BRWシリーズ』
NWフランジ接続のボールバルブです。最高流体温度200℃まで使用可能！
『BRWシリーズ』は、分解・洗浄・パッキン類の交換が可能な 真空フランジ ボールバルブです。 手動弁と自動弁をご用意。 ボールシートに耐久性・耐熱性に優れたハイパタイトPTFEを 使用しており、最高流体温度200℃まで使用可能。 フルボア構造は高いコンダクタンスと副生成物の堆積を抑制する 効果があり、CVD装置などの排気ラインに適しています。 ＃副生成物対策 【特長】 ■フルボア構造は高いコンダクタンスと副生成物の堆積を抑制 ■CVD装置などの排気ラインに好適 ■ボールシートに耐久性・耐熱性に優れたハイパタイトPTFEを使用 ■最高流体温度200℃まで使用できる ■分解・洗浄・パッキン類の交換が可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様】 ■使用流体温度：－10～200℃ ■使用圧力：1Ｘ10^-6Pa(abs)～6Ｘ10^5Pa(abs)[0.5MPa(G)] ■標準材質 ・ボディ・フランジ：SCS13A ・ボール：SUS304 ・ステム：SUS304 ・ボールシート：ハイパタイトPTFE ・パッキン・ガスケット：PTFE ■操作圧力：0.4～0.7MPa(G) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
KITZ SCTは、金属加工技術や溶接技術に加え、広々としたクリーンな環境スペース、超精密洗浄システム、そして独自に開発した超精密研磨技術など、極めて幅広い技術をクロスオーバーさせ、真空から高圧システムまでの各種半導体製造用配管部品の開発製造から販売サービスまで行っています。 また、ISO規格、高圧ガス認定をはじめとし、厳重な品質管理システムを取り入れ、素材の分析評価からプロセス/完成品に至るまでのあらゆる分析評価で総合的なクリーン化を目指し、常に時代のニーズにお応えしてまいります。
