角型真空ゲートバルブ『UXG/LGシリーズ』
Max180℃まで任意の温度に設定可能！メンテナンス期間を大幅に延長できます
『UXG/LGシリーズ』は、半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャンバー 間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです。 ボディはアルミニウム製で、複動式エアーアクチュエーターにより作動。 ヒーター付き仕様は固定されたボディに内蔵している外部ヒーターによる 加熱だけでなく、可動部である弁体内部にもヒーターを持ち、外部と内部 の両方から加熱することにより、高い均熱性能を特長としています。 【特長】 ■メンテナンス期間を大幅に延長できる ■内部と外部の温度を個々に設定可能 ■バルブを開閉作動する時に、パーティクルが発生しにくい無摺動構造 ■バルブクローズを保つラッチロック機構を装備 ■ゲートのOリング材質として、フッ素ゴム・KALREZ・Chemraz等を用意 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様（一部）】 ■サイズ：12"（300mm タイプ） ■使用圧力：1x10^-6Pa～0.101MPa（abs） ■弁座耐差圧：0.101MPa（正逆圧） ■ベローズ耐圧：0.02MPa（G） ■弁開閉許容差圧：1.3KPa ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
KITZ SCTは、金属加工技術や溶接技術に加え、広々としたクリーンな環境スペース、超精密洗浄システム、そして独自に開発した超精密研磨技術など、極めて幅広い技術をクロスオーバーさせ、真空から高圧システムまでの各種半導体製造用配管部品の開発製造から販売サービスまで行っています。 また、ISO規格、高圧ガス認定をはじめとし、厳重な品質管理システムを取り入れ、素材の分析評価からプロセス/完成品に至るまでのあらゆる分析評価で総合的なクリーン化を目指し、常に時代のニーズにお応えしてまいります。
