『事例集』固体材料供給における高温化の課題への提案※無料進呈中
半導体材料メーカー様 必見！固体材料供給における高温化の課題への提案の事例を進呈中
250℃の供給プロセスでオールメタルバルブを使用しているが、耐久回数に不満がある。 200℃の供給プロセスでシート交換できないバルブを使用しているため、バルブを交換しなければならず、ランニングコストがかさんでしまう。 200℃対応のバルブを使用しているが、駆動部が高温に耐えられず、ボディ部のみをヒーティングしている。ボディに装着したヒーターの熱が駆動部側から放熱してしまい、困っている、、、 といったお悩みはありませんか？ KITZ SCT では流路のお悩みをトータルでご提案しております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/product
基本情報
・シート部を交換可能としたダイヤフラムバルブです。 ・材料容器（キャニスター）に溶接されていてもシート部の交換で、ランニングコスト削減が可能 ・200℃/250℃の高温環境下でも温度変動が少なく材料を安定して供給することができます。
価格情報
製品仕様によって異なります。詳しくは当社ホームページへお問い合わせください。
納期
用途／実績例
用途 ・CVD装置などに使用する原料を扱う方 ・原料容器（キャニスター）とバルブをクリーニングの度に交換しており、ランニングコストがかさんでしまっている方 ・固体材料を高温で供給したいが、流体温度が安定しないことにお悩みの方
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取り扱い会社
KITZ SCTは、金属加工技術や溶接技術に加え、広々としたクリーンな環境スペース、超精密洗浄システム、そして独自に開発した超精密研磨技術など、極めて幅広い技術をクロスオーバーさせ、真空から高圧システムまでの各種半導体製造用配管部品の開発製造から販売サービスまで行っています。 また、ISO規格、高圧ガス認定をはじめとし、厳重な品質管理システムを取り入れ、素材の分析評価からプロセス/完成品に至るまでのあらゆる分析評価で総合的なクリーン化を目指し、常に時代のニーズにお応えしてまいります。
