APCバタフライバルブ『PCVAシリーズ』
AUTO PID搭載！指定した目標圧力に自動で調整するAPCバタフライバルブ
AUTO PID制御を搭載したAPCバタフライバルブ [PCVAシリーズ]のご紹介です。 当製品はバルブ、コントローラー 一体型のAPCバタフライバルブで、 半導体製造の真空排気ラインでの使用に好適です。 半導体製造ラインでは温度や圧力の微細な変動が製品の品質に大きな影響を与えるため、 高精度な制御が不可欠です。AUTO PID制御は高精度な制御、迅速な応答、 長期的な安定性、外乱に対する強さに対して利点があり、 半導体製造において、要求されるプロセスの安定化に寄与します。 AUTO PID制御を搭載するAPCバタフライバルブ [PCVAシリーズ]は 自動で指定した目標圧力に到達でき、半導体製造プロセスの最適化と効率化に寄与します。 具体的には次の制御が可能です。 ■ 圧力制御：指定した目標圧力に自動で調整 ■ 目標変更：圧力制御時の目標圧力値の変化にも対応 ■ 流量変動：学習流量以外の流量に対しても圧力制御が可能 ■ 外乱影響：目標圧力制御中に流量が変化しても目標圧力に収束 ■ 位置ずれ検出：生成物付着やメカ部トラブル等による位置ずれの検知が可能
基本情報
【主な仕様（一部）】 ■ サイズ：40A、50A ■ 使用圧力：1X10^-6Pa～0.101MPa ■ 弁座耐差圧：0.101MPa ※その他の仕様についてはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造ラインの真空排気ライン ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（2）
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取り扱い会社
KITZ SCTは、金属加工技術や溶接技術に加え、広々としたクリーンな環境スペース、超精密洗浄システム、そして独自に開発した超精密研磨技術など、極めて幅広い技術をクロスオーバーさせ、真空から高圧システムまでの各種半導体製造用配管部品の開発製造から販売サービスまで行っています。 また、ISO規格、高圧ガス認定をはじめとし、厳重な品質管理システムを取り入れ、素材の分析評価からプロセス/完成品に至るまでのあらゆる分析評価で総合的なクリーン化を目指し、常に時代のニーズにお応えしてまいります。
