【半導体向け】高温対応ダイヤフラムバルブ
高温環境下でも安定供給を実現するダイヤフラムバルブ
半導体製造における薬液供給では、高い純度と温度管理が求められます。特に、薬液の劣化や異物混入は、製品の品質に深刻な影響を与える可能性があります。また、高温環境下での使用は、バルブの耐久性や信頼性を大きく左右します。高温対応ダイヤフラムバルブ『ZDシリーズ』『ZDーKシリーズ』は、これらの課題に対応し、安定した薬液供給を実現します。 【活用シーン】 ・薬液供給ライン ・材料容器への供給 ・高温環境下での使用 【導入の効果】 ・シート交換によるメンテナンス性の向上 ・高温環境下での安定した性能 ・高い製品純度の維持
基本情報
【特長】 ・シート部脱着交換可能 ・高温環境下で使用可能（ZD series：200℃まで、ZD-K series：250℃まで） ・サイズ：1/4" 1/2" ・駆動方法：自動 手動（ZD-Kのみ） ・ボディ：SUS316L、SUS316LE（二重溶解材）、シート：PFA、ダイヤフラム：コバルト合金 【当社の強み】 KITZ SCTは、半導体製造用配管部品の開発製造から販売サービスまで行っています。ISO規格、高圧ガス認定を取得し、厳重な品質管理システムのもと、お客様のニーズにお応えします。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ■高純度の材料容器 ※クリーニング可能：今まで材料容器を使い捨てにしていた方もご参照ください。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
KITZ SCTは、金属加工技術や溶接技術に加え、広々としたクリーンな環境スペース、超精密洗浄システム、そして独自に開発した超精密研磨技術など、極めて幅広い技術をクロスオーバーさせ、真空から高圧システムまでの各種半導体製造用配管部品の開発製造から販売サービスまで行っています。 また、ISO規格、高圧ガス認定をはじめとし、厳重な品質管理システムを取り入れ、素材の分析評価からプロセス/完成品に至るまでのあらゆる分析評価で総合的なクリーン化を目指し、常に時代のニーズにお応えしてまいります。