ターボ分子ポンプ用 補助ポンプ 粗排気ポンプ
ターボ分子ポンプ用 補助ポンプ 粗排気ポンプ
小型ターボ分子ポンプ(TMP)の補助ポンプ（粗排気ポンプ)です。 オイルフリーのダイアフラムポンプはオイルミストによる周辺機器へのコンタミはなく、メンテナンス性にも優れます。
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ターボ分子ポンプ用 補助ポンプ 粗排気ポンプ
小型ターボ分子ポンプ(TMP)の補助ポンプ（粗排気ポンプ)です。 オイルフリーのダイアフラムポンプはオイルミストによる周辺機器へのコンタミはなく、メンテナンス性にも優れます。
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