ターボ分子ポンプの租排気用ダイアフラム真空ポンプ

ターボ分子ポンプシステムは、始動および効果的な動作には深い真空が必要となります。この真空を得るためにダイアフラムポンプ技術を用いた租排気(Roughing pump)に頼ることが多くあります。ターボ分子ポンプシステムは、質量分析、漏れ検出、半導体製造など、さまざまな用途で広く使用されています。これらの複雑なシステムは効果的に動作させるには極めて深い真空状態が必要であり、そのレベルに達するにはダイアフラムポンプに頼らざるを得ません。ダイアフラムポンプ技術はこれらの用途において他のポンプタイプよりもいくつかの利点があります。 ※租排気ポンプ = 粗びきポンプ、バックアップポンプ