【半導体エッチング向け】FMS-FC 1.400 流量制御ポンプ
流量制御でエッチングプロセスを最適化
半導体製造におけるエッチング工程では、薬液の正確な流量制御が不可欠です。均一なエッチング処理は、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素であり、流量のわずかな変動が、不良品の発生につながる可能性があります。FMS-FC 1.400 流量制御付きメータリングポンプは、閉ループ制御により安定した流量を提供し、エッチングプロセスの精度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体ウェーハのエッチングプロセス ・薬液供給システムの流量制御 ・エッチング装置への組み込み 【導入の効果】 ・安定した流量供給によるエッチング品質の向上 ・製品の歩留まり向上 ・プロセスの再現性向上
基本情報
【特長】 ・閉ループ制御による安定した液体流量 ・製品寿命を通じて一定した流量 ・液体温度変化に対する安定性 ・システム圧力変動に対する安定性 ・設定可能な出力パラメータ ・故障／気泡検出機能 ・柔軟な通信インターフェース ・容易なシステム統合 ・基本流量 800 - 3400 mi/min ・吸引揚程 3 mH2O ・耐食仕様 PTFE / FKM / FFKM ・ポンプヘッド材質 PPS ・ポンプ専用に開発したKNF製ブラシレスDCモータ 【当社の強み】 KNFは、ダイアフラムポンプや気体・液体処理システムの開発・設計・製造・販売に特化した企業です。お客様の課題解決型のソリューションを提供し、世界でその地位を確立してきました。
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
応相談
受注生産 事前の技術打ち合わせが必須です
型番・ブランド名
FMS-FC 1.400 METERING PUMP WITH FLOW CONTROL
用途／実績例
代表的な適用アプリケーション • 清掃・消毒 • 医療診断 • 産業用計測システム • 実験室機器 • 印刷（インクジェット） • 化学工業
関連動画
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FMS-FC 1.400 METERING PUMP WITH FLOW CONTROL | ダイアフラム液体ポンプ |
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
おすすめ製品
取り扱い会社
KNFは、クルト・ノイベルガーが1946年にドイツのフライブルク（フライブルク・イム・ブライスガウ）にて創設しました。以来、当社は家族経営の独立した会社であり、お客様に安心と安定を提供しています。当社は長年にわたり、着実な成長を遂げ、経験を積み重ねつつグローバルに事業拡大してきました。現在、世界に法人17社を有する当社は、様々な産業における専門知識を深め、製品用途拡大を今も変わらず進めています。ダイアフラムポンプや気体・液体処理システムの開発・設計・製造・販売に特化したお客様の課題解決型のソリューションを提供する企業として、世界でその地位を確立してきました。 イノベーションとは、新しいアプローチや様々な方法に対してオープンな姿勢を持ち、これからの未来に必要とされることを適切に判断し特定していくことです。機械学、資材、流体工学から電子工学およびソフトウェアに至るまで、さまざまなエンジニアリング分野の専門知識を結集し、お客様の今だけでなく将来のニーズに対してもあらゆる用途に最適でスマートなソリューションを見つけるよう努めています。