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ハードディスク表面のスクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出

ハードディスク表面に高出力レーザーを照射することで、スクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出し、欠陥種類ごとに分類、結果表示します。 複数レーザーの同時照射によりスクラッチを高感度で検出するだけでなく、欠陥の凹凸形状を判定します。 特長 ・高出力レーザーによる微小欠陥の検出 ・高いスクラッチ検出能力 ・欠陥の凹凸を弁別 ・全数オートフォーカス ・優れたコストパフォーマンス ・カスタマイズ対応 ・1カセット自動検査対応 ・透明ガラス基板対応

透明ウェーハも高速検査！高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出！

【主な仕様】（型式：LE-W1） 検出方式　　：レーザー散乱方式、反射方式、位相シフト方式 検出欠陥　　：パーティクル、スクラッチ、ピット、ヒロック、ステイン等 対象素材　　：Si、SiC、GaN、LT、サファイア等 対象サイズ　：2、4、6、8インチ （その他、別途ご相談） 検査時間　　：約90秒／枚（4インチ、10μmピッチ、搬送時間含む） レーザー波長：405nm 検査ピッチ　：5～30μm 結果出力　　：マップ、種類別グラフ、リスト、サイズ分類 機器寸法　　：W 1800×D 990×H 1490（mm） ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。