多槽式ウェハ洗浄装置

RCA洗浄や各種エッチングに対応！薬液・純水の使用量やフットプリントを大幅に削減します

当製品は、キャリアレスとキャリアタイプをラインアップした「多槽式ウェハ洗浄装置」です。キャリアレスタイプは高清浄度な洗浄に対応し、薬液や純水の使用量とフットプリントを大幅に削減。キャリアタイプは1バッチの搬送カセット数を1または2カセットから選択できます。酸系薬液用処理、アルカリ系薬液用処理、有機系薬液用処理の各プロセスによる装置構成が可能です。【多槽式キャリアレスの特長】 ■ワークサイズは、6インチ、8インチ、12インチウェハに対応 ■キャリアレス搬送により成膜前洗浄などの高清浄度な洗浄に対応 ■薬液や純水の使用量を大幅に削減 ■フットプリントを大幅に縮小 ■乾燥はIPA乾燥、温水引き上げ・IR乾燥、マランゴニ乾燥から選択 ■ローダー、アンローダーはカセットまたはFOUPに対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報

【多槽式キャリアタイプの特長】 ■ワークサイズは、2インチから12インチウェハに対応 ■1バッチの搬送カセット数は1カセットまたは2カセットから選択 ■乾燥はスピンドライヤ、IPA乾燥から選択 ■ローダー、アンローダーのカセット数はご要望に応じて対応可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。