前工程洗浄装置
前工程洗浄装置
半導体をはじめ、MEMS、化合物等、幅広い分野のウェットプロセス処理で豊富な経験があり、ユーザーのニーズに合わせた最適なカスタム装置を提供します。また、薬液供給装置など各種付帯設備の設計、製造も承ります。
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レジストコーター
量産対応・少量生産対応!レジスト塗布・ベーク・冷却の一連の工程を自動で処理するシステム
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枚葉式スピン現像装置
パドル現像・スプレー現像・リンス・スピン乾燥までの各工程を自動で処理!
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枚葉式スピン洗浄装置
複数のチャンバー形態で、複合プロセスニーズに対応した枚葉マルチスピンプロセッサー!
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枚葉式レジスト剥離装置
剥離・リンス・スピン乾燥までの各工程を自動で処理するシステムをご紹介!
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多槽式ウェハ洗浄装置
薬液や純水の使用量を大幅に削減!フットプリントを大幅に縮小
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薬液スクラブ洗浄装置
ディスクブラシ洗浄に薬液洗浄を加えた少量生産対応の洗浄装置をご紹介!
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両面スクラブ洗浄装置
独自のシャフト中心給水方式でローラーブラシを徹底洗浄!
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大基板(パネルレベル・角基板)現像装置
現像処理からリンス、スピン乾燥までの一連のプロセスを自動で実行!
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半導体ウエハ洗浄装置【一品一様でカスタマイズ対応可能】
2~12インチのウエハに対応している。一品一様でカスタマイズ可能。
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