両面スクラブ洗浄装置

独自のシャフト中心給水方式でローラーブラシを徹底洗浄！

当社で取り扱っている「両面スクラブ洗浄装置」についてご紹介いたします。研磨後のワークに対し、表裏面を洗剤と純水によってスクラブ洗浄。その後、二流体洗浄、酸・アルカリ薬液洗浄、メガソニックシャワー洗浄などの複合洗浄プロセスを行い、最終工程としてスピン乾燥を実施します。ワークサイズはΦ2"～12"ウェハ、100～320□mmに対応しており、サイズ変更による段取り替え不要。横型両面スクラブ洗浄と縦型との選択が可能です。【装置構成】 ■ローダー：水中槽(Dry-in対応可能) ■スクラブ洗浄：PVA or ナイロンブラシによる表裏面スクラブ洗浄(洗剤・純水洗浄) ■スピン洗浄：二流体洗浄、DHF/SC-1/SPM洗浄(選択) ■リンス：MSシャワー、O3洗浄 ■バックリンス：DIW洗浄 ■乾燥：N2スピン乾燥 ■アンローダー：1～2カセット or FOUP ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

関連リンク - https://www.longcoop.com/

基本情報

【仕様(一部)】 ■ブラシ押し圧・ブラシ摩耗に応じて0.1mm単位で押圧力を制御する自動補正機能・ワークのエッジ部への対応も可能 ■ブラシ洗浄機・スクラブ洗浄前に、ブラシを毎回自動洗浄(タイミング任意設定可能) ・独自のシャフト中心給水方式でローラーブラシを徹底洗浄 ■本体両側面に薬液供給タンクおよび廃液タンク内蔵可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。