レジストコーター
量産対応・少量生産対応！レジスト塗布・ベーク・冷却の一連の工程を自動で処理するシステム
当社で取り扱っている「レジストコーター」についてご紹介いたします。 ご要望に応じて、手動仕様での製作にも対応。 ワークサイズはΦ2"～12"ウェハ、100□～320□mm角基板に 対応しております。 ワーク材質はSi、SiC、GaN、GaAs、InP、LT/LN、 セラミック、水晶、樹脂、ガラス等。塗布材粘度は 100CP～8,000CPです。 【仕様(一部)】 ■ワーク搬送：多関節クリーンロボット 裏面吸着方式 ■二段カップ(上段：レジスト、下段：リンス) ■レジスト液：フォトレジスト、ポリイミド系(キャニスター内蔵可能) ■ベーク：90℃～120℃±1℃(プロキシミティ/コンタクト選択) ■クールプレート：10℃～25℃(プロキシミティ/コンタクト選択) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【オプション】 ■インナーカップ ■EBR機能 ■自動消火器 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
