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石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」
縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。世界トップクラスの納入実績(400台以上)
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ウェハ搬送移載装置「ピッチ変換」「Face to Face移載」
カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能
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IPA蒸気乾燥装置
IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能
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スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」
機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用
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ガラス基板成膜装置「低温成膜」「フレキシブル基板対応」
FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代のガラス基板成膜装置
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高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置(12インチウェハ対応)
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高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置 (8インチウェハまで対応)
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表面改質処理加工・治具洗浄「溶射・洗浄による品質改善」
治具・部品のメンテナンスは、品質維持から改善へ。溶射＋洗浄技術で、母材を傷めず高品質に再生します。
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精密機械加工部品(トムコ)「確かな加工技術と短納期対応」
実績のある加工技術と短納期対応でお客様の優れた製品開発をサポートします。
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シリコーンゴム成型品「半導体製造装置」「医療機器用部品」等に好適
シリコーンは耐熱性、耐候性、電気絶縁性に優れており、半導体製造・医療・食品・エレクトロニクスなど様々な分野で使用されております
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セラミックファイバー 最高使用温度1800℃まで対応可能！
ブランケット、ボード、ブロック等、お客様の要望に合わせた加工品を製作いたします
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最大1600℃の電気炉向けヒーター、SiCヒーター（炭化ケイ素）
800℃～1600℃での高温使用が可能！ガラス製造、熱処理など、電気炉に適したヒーター。既存の設備へも置き換え・代替可能！
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着脱式 保温断熱カバー 省エネ・安全・オーダーメイド・簡単着脱
要求仕様に合った断熱材を選択し使用して、表面温度を約60%前後(t15の断熱材で200℃→65℃）下げ、省エネ効果を発揮
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黄銅管 「 押広げ、曲げ性、絞り性、メッキ製に優れている」
水栓金具の吐水口及び排水管(大手メーカーに実績あり)。お客様の用途に合わせて必要なサイズに伸管が可能です
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銅管 「熱伝導に優れた金属」「加工性が良好」「抗菌効果あり」
銅は熱伝導性に優れた金属で、加工性も良好。抗菌効果も確認済み。お客様の用途に合わせて必要なサイズに伸管が可能です。
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超透明シリコーンゴムシート(HTシート)「透過率95%」
透過率95%のシリコーンゴムシート(HTシート)は、液晶画面のキズ防止・タッチパネル等の画面操作の緩衝保護フィルムとして最適です
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シリコーンゲルシート「衝撃吸収・マスキングに」「短納期対応」
ゴムでは不可能な防振性能、並外れた柔らかさによる高い衝撃吸収性、優れた防水・防塵性等を兼ね備えた超低硬度シリコーンゴムシート
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ガラスクロス入りシリコーンゴムシート 「衝撃に強い」
シリコーンゴムにガラスクロスを挟んだシートで衝撃に強いシリコーンシート
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高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V)
少量・多品種向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 枚葉式常圧CVD(APCVD)装置(8インチSiCウェハ対応)
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小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501)
試作・開発・小ロット生産向け NSG(SiO2)/BSG/PSG/BPSG膜成膜用 バッチ式(複数枚同時処理)APCVD装置
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DLCコーティング, DLC装置「低温成膜」「はがれにくい」
プラズマイオン注入方式により、様々な形状の金属、樹脂、ゴム素材にダイヤモンドのように硬く、低摩擦の高密着コーティングが可能です
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純水製造装置(PURELAB Chorus2⁺)消耗品交換が簡単
タンク内にUVランプを装着不要 循環ライン中に純水カートリッジ・UVランプを配置することでタンク水の水質維持が可能
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水道直結型超純水製造装置(PURELAB Flex3) 次世代型
PURELAB Flex3は水道につなぐだけで超純水(JIS K0557 A4 グレード)が採水可能。純水装置は不要です。
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太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)
結晶Si太陽電池セル量産用 NSG(SiO2)/PSG/BSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置
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耐熱ガラス繊維（シリグラス）「高温耐熱性」
1000℃の高温でも長時間連続使用が対応可能 耐熱ガラス繊維「シリグラス」
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シリコーンゴムシート (汎用品・特殊品)
シリコーンゴムシート「ワコム製作所製」「異物等のコンタミがほとんどありません」小ロット対応可能
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石英ガラス製品、石英ガラス加工品「半導体製造プロセスで活躍」
弊社グループ会社にて石英ガラス製品を製造、国内・海外の半導体デバイスメーカー及びシリコンメーカーへ多数納入実績あり。
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溶融シリカ質耐火物 (GLASSUN)「低い熱伝導率」
高純度の溶融ケイ酸質原料を主成分とする耐火物GLASSUN 熱衝撃への強い耐久力、低い熱伝導率が応用範囲の広さを実現
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高純度アルミナセラミックス(SAPPHAL) 過酷な条件に耐える
F系プラズマ雰囲気下、過酷な条件に耐える強者！
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常圧焼結SiCセラミックス (CERASIC)
優れた耐食性と物理特性がラインの信頼性を築きます！
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