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SMIF POD（マルチ／シングルタイプ）「SEMI規格準拠」
徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取り扱い中の機械的衝撃による損傷のリスクを最小限に抑えます
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レチクルケース(フォトマスクケース)「クリーンな環境での使用可」
露光装置及び、周辺装置用のレチクルケース。主要露光装置メーカーの露光装置にて多数採用済み。クリーンな環境での使用可能！
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シリコンウエハ研磨用キャリア「短納期、少量ロット対応も可能」
シリコンウエハ製造のラッピング、ポリッシング工程でのウエハホルダーとして使用するキャリアをお客様のニーズに合わせて製作します
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高温炉用熱電対(半導体製造装置向け)「高精度な温度測定機能」
高精度な温度測定機能により、熱処理工程の温度制御に好適！
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インライン・ガスフィルター CEPURE「より高いガス置換特性」
圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性等ガスフィルターに求められる特性面も優れています！高純度アルミナを使用
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管状炉(カンタルヒーター)「高温炉用」「各種形状に対応」
半導体熱処理や工業用熱処理まで、各種形状、各種発熱体に対応、高温炉に対応可能な管状炉です
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二珪化モリブデン(MoSi2)ヒーター 最高1800℃使用可能！
二珪化モリブデンヒーター: 繰り返し使用が可能で高寿命、お客様に合わせた設計が可能
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カーボン接着剤「炭素材料用の高強度・耐熱接着剤」
炭素材料用の高強度・耐熱接着剤。炭素材料の優れた特性を損なうことなく接着可能。
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ガラス状カーボン「耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料」
ガラス状カーボンは炭素材料の一種であり、半導体製造装置用部品に使用実績あり。高純度化も可能。
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SiCダミーウェハ「超高純度、高耐熱性、高耐摩耗性を実現」
独自のCVD-SiCで製作され、超高純度、高耐食性、高耐酸化性、高耐熱性、高耐摩耗性の特性を持ちます
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マスクゴムシート(メッキマスクゴムシート)「豊富な種類」
リードフレーム、その他メッキ時等のマスキング材として利用されている「シリコーンゴムシート」です
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石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」
縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。世界トップクラスの納入実績(400台以上)
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ウェハ搬送移載装置「ピッチ変換」「Face to Face移載」
カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能
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IPA蒸気乾燥装置
IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能
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スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」
機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用
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ガラス基板成膜装置「低温成膜」「フレキシブル基板対応」
FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代のガラス基板成膜装置
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高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置(12インチウェハ対応)
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高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置 (8インチウェハまで対応)
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表面改質処理加工・治具洗浄「溶射・洗浄による品質改善」
治具・部品のメンテナンスは、品質維持から改善へ。溶射＋洗浄技術で、母材を傷めず高品質に再生します。
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精密機械加工部品(トムコ)「確かな加工技術と短納期対応」
実績のある加工技術と短納期対応でお客様の優れた製品開発をサポートします。
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シリコーンゴム成型品「半導体製造装置」「医療機器用部品」等に好適
シリコーンは耐熱性、耐候性、電気絶縁性に優れており、半導体製造・医療・食品・エレクトロニクスなど様々な分野で使用されております
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セラミックファイバー 最高使用温度1800℃まで対応可能！
ブランケット、ボード、ブロック等、お客様の要望に合わせた加工品を製作いたします
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最大1600℃の電気炉向けヒーター、SiCヒーター（炭化ケイ素）
800℃～1600℃での高温使用が可能！ガラス製造、熱処理など、電気炉に適したヒーター。既存の設備へも置き換え・代替可能！
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着脱式 保温断熱カバー 省エネ・安全・オーダーメイド・簡単着脱
要求仕様に合った断熱材を選択し使用して、表面温度を約60%前後(t15の断熱材で200℃→65℃）下げ、省エネ効果を発揮
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黄銅管 「 押広げ、曲げ性、絞り性、メッキ製に優れている」
水栓金具の吐水口及び排水管(大手メーカーに実績あり)。お客様の用途に合わせて必要なサイズに伸管が可能です
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銅管 「熱伝導に優れた金属」「加工性が良好」「抗菌効果あり」
銅は熱伝導性に優れた金属で、加工性も良好。抗菌効果も確認済み。お客様の用途に合わせて必要なサイズに伸管が可能です。
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超透明シリコーンゴムシート(HTシート)「透過率95%」
透過率95%のシリコーンゴムシート(HTシート)は、液晶画面のキズ防止・タッチパネル等の画面操作の緩衝保護フィルムとして最適です
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シリコーンゲルシート「衝撃吸収・マスキングに」「短納期対応」
ゴムでは不可能な防振性能、並外れた柔らかさによる高い衝撃吸収性、優れた防水・防塵性等を兼ね備えた超低硬度シリコーンゴムシート
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ガラスクロス入りシリコーンゴムシート 「衝撃に強い」
シリコーンゴムにガラスクロスを挟んだシートで衝撃に強いシリコーンシート
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高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V)
少量・多品種向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 枚葉式常圧CVD(APCVD)装置(8インチSiCウェハ対応)
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