半導体関連製品
半導体関連製品
半導体関連製品のご紹介です。
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石英ガラス製品、石英ガラス加工品「半導体製造プロセスで活躍」
弊社グループ会社にて石英ガラス製品を製造、国内・海外の半導体デバイスメーカー及びシリコンメーカーへ多数納入実績あり。
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耐熱ガラス繊維（シリグラス）「高温耐熱性」
1000℃の高温でも長時間連続使用が対応可能 耐熱ガラス繊維「シリグラス」
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高純度アルミナセラミックス(SAPPHAL) 過酷な条件に耐える
F系プラズマ雰囲気下、過酷な条件に耐える強者！
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高純度アルミナセラミックスADS「電気絶縁性、高強度、耐摩耗性」
ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01％以下と非常に緻密な焼結体で、高強度、耐摩耗性、化学的安定性などに応えます！
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高純度黒鉛製品「半導体をはじめ様々な産業で活躍」
半導体をはじめ様々な産業で活躍 高密度/高純度な特殊炭素材料 SiC膜を被覆したClear Carbon
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炭化けい素セラミックス(TPSS)「高純度、高強度、高耐食性」
高純度、高強度、高耐食性を兼ね備えた半導体製造プロセスに欠かせない半導体関連材料！
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常圧焼結SiCセラミックス (CERASIC)
優れた耐食性と物理特性がラインの信頼性を築きます！
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真空破壊用ブレイクフィルター「真空装置のパーティクルを低減」
真空装置のスループット向上、パーティクルの低減・防止にお試しください！
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表面改質処理加工・治具洗浄「溶射・洗浄による品質改善」
治具・部品のメンテナンスは、品質維持から改善へ。溶射＋洗浄技術で、母材を傷めず高品質に再生します。
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小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501)
試作・開発・小ロット生産向け NSG(SiO2)/BSG/PSG/BPSG膜成膜用 バッチ式(複数枚同時処理)APCVD装置
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高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V)
少量・多品種向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 枚葉式常圧CVD(APCVD)装置(8インチSiCウェハ対応)
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太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)
結晶Si太陽電池セル量産用 NSG(SiO2)/PSG/BSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置
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高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置 (8インチウェハまで対応)
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高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置(12インチウェハ対応)
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ガラス基板成膜装置「低温成膜」「フレキシブル基板対応」
FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代のガラス基板成膜装置
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スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」
機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用
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IPA蒸気乾燥装置
IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能
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ウェハ搬送移載装置「ピッチ変換」「Face to Face移載」
カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能
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SiCダミーウェハ「超高純度、高耐熱性、高耐摩耗性を実現」
独自のCVD-SiCで製作され、超高純度、高耐食性、高耐酸化性、高耐熱性、高耐摩耗性の特性を持ちます
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石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」
縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。世界トップクラスの納入実績(400台以上)
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ガラス状カーボン「耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料」
ガラス状カーボンは炭素材料の一種であり、半導体製造装置用部品に使用実績あり。高純度化も可能。
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カーボン接着剤「炭素材料用の高強度・耐熱接着剤」
炭素材料用の高強度・耐熱接着剤。炭素材料の優れた特性を損なうことなく接着可能。
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最大1600℃の電気炉向けヒーター、SiCヒーター（炭化ケイ素）
800℃～1600℃での高温使用が可能！ガラス製造、熱処理など、電気炉に適したヒーター。既存の設備へも置き換え・代替可能！
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二珪化モリブデン(MoSi2)ヒーター 最高1800℃使用可能！
二珪化モリブデンヒーター: 繰り返し使用が可能で高寿命、お客様に合わせた設計が可能
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管状炉(カンタルヒーター)「高温炉用」「各種形状に対応」
半導体熱処理や工業用熱処理まで、各種形状、各種発熱体に対応、高温炉に対応可能な管状炉です
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インライン・ガスフィルター CEPURE「より高いガス置換特性」
圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性等ガスフィルターに求められる特性面も優れています！高純度アルミナを使用
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高温炉用熱電対(半導体製造装置向け)「高精度な温度測定機能」
高精度な温度測定機能により、熱処理工程の温度制御に好適！
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溶融シリカ質耐火物 (GLASSUN)「低い熱伝導率」
高純度の溶融ケイ酸質原料を主成分とする耐火物GLASSUN 熱衝撃への強い耐久力、低い熱伝導率が応用範囲の広さを実現
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シリコンウエハ研磨用キャリア「短納期、少量ロット対応も可能」
シリコンウエハ製造のラッピング、ポリッシング工程でのウエハホルダーとして使用するキャリアをお客様のニーズに合わせて製作します
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レチクルケース(フォトマスクケース)「クリーンな環境での使用可」
露光装置及び、周辺装置用のレチクルケース。主要露光装置メーカーの露光装置にて多数採用済み。クリーンな環境での使用可能！
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