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小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501)
試作・開発・小ロット生産向け NSG(SiO2)/BSG/PSG/BPSG膜成膜用 バッチ式(複数枚同時処理)APCVD装置
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DLCコーティング, DLC装置「低温成膜」「はがれにくい」
プラズマイオン注入方式により、様々な形状の金属、樹脂、ゴム素材にダイヤモンドのように硬く、低摩擦の高密着コーティングが可能です
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太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)
結晶Si太陽電池セル量産用 NSG(SiO2)/PSG/BSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置
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耐熱ガラス繊維（シリグラス）「高温耐熱性」
1000℃の高温でも長時間連続使用が対応可能 耐熱ガラス繊維「シリグラス」
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【食品成形向け】シリコーンゴムシート
食品の安全と品質を守る、異物混入を防ぐシリコーンゴムシート
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【自動車向け】シリコーンゴムシート
自動車のシールに最適な、高品質シリコーンゴムシート
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【医療機器向け】シリコーンゴムシート
医療機器のパッキンに。異物混入を防ぎ、高い安全性を実現。
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【航空宇宙向け】耐熱シリコーンゴムシート
航空宇宙分野の耐熱ニーズに応える、高品質シリコーンゴムシート
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【半導体向け】シリコーンゴムシートによる絶縁ソリューション
異物混入を抑制し、絶縁性を確保するシリコーンゴムシート
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シリコーンゴムシート (汎用品・特殊品)
シリコーンゴムシート「ワコム製作所製」「異物等のコンタミがほとんどありません」小ロット対応可能
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石英ガラス製品、石英ガラス加工品「半導体製造プロセスで活躍」
弊社グループ会社にて石英ガラス製品を製造、国内・海外の半導体デバイスメーカー及びシリコンメーカーへ多数納入実績あり。
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溶融シリカ質耐火物 (GLASSUN)「低い熱伝導率」
高純度の溶融ケイ酸質原料を主成分とする耐火物GLASSUN 熱衝撃への強い耐久力、低い熱伝導率が応用範囲の広さを実現
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高純度アルミナセラミックス(SAPPHAL) 過酷な条件に耐える
F系プラズマ雰囲気下、過酷な条件に耐える強者！
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常圧焼結SiCセラミックス (CERASIC)
優れた耐食性と物理特性がラインの信頼性を築きます！
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高純度アルミナセラミックスADS「電気絶縁性、高強度、耐摩耗性」
ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01％以下と非常に緻密な焼結体で、高強度、耐摩耗性、化学的安定性などに応えます！
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真空破壊用ブレイクフィルター「真空装置のパーティクルを低減」
真空装置のスループット向上、パーティクルの低減・防止にお試しください！
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高純度黒鉛製品「半導体をはじめ様々な産業で活躍」
半導体をはじめ様々な産業で活躍 高密度/高純度な特殊炭素材料 SiC膜を被覆したClear Carbon
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炭化けい素セラミックス(TPSS)「高純度、高強度、高耐食性」
高純度、高強度、高耐食性を兼ね備えた半導体製造プロセスに欠かせない半導体関連材料！
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シリコーン製品（MOMENTIVE社製）「納期を是非相談下さい」
モメンティブ製のシリコーン材料等、弊社では一部在庫を持ち、短納期にて対応できるものもございますので、是非ご相談ください
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