【New!! 2023年春版 最新測定事例集をリリース】光学式 3D表面形状測定機『Marsurf CP/CL・CM』:世界の光学産業で採用された測定事例をご覧頂けます。
マール・ジャパン株式会社
【『MarSurf CP/CL・CMシリーズ』最新測定事例集進呈中!】 <掲載測定事例/光学部品編 2023春編> ■ウエハーレベルレンズ/オプティクス(寸法・体積測定) ■マイクロレンズアレイ(幾何形状) ■車載用 LiDAR のマイクロレンズ(面精度(PV、RMS)) ■マイクロレンズ(設計図に対する形状検査) ■非球面マイクロレンズ(マスターとレプリカの比較) 他 CLは高速ラインセンサを搭載。 Z方向0.02μmの高分解能で100×100mmサイズを約1分で測定。 CPは Z方向6nmの高分解能。 ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応。 CMはポータブル型を含む共焦点顕微鏡。 2nmの高分解能をもち、大型・動かせないワークにも好適。 評価項目例 3D/2D: ・表面粗さ(R)・断面粗さ(S)・輪郭・真直度 ・断面積・層厚・反り/平坦度・形状・体積/摩耗
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測定機:表面粗さ・輪郭形状(接触式/光学式)レンズ測定
レンズ表面形状2D測定機
■『MarSurf LD Aspheric 2D』
レンズ輪郭形状3D測定機
■『MarForm MFU 200 Aspheric 3D』
レンズ表面形状3D測定機
■『MarSurf CM』シリーズ
■『MarSurf CP/CL』シリーズ