レンズ用高精度3D測定機 MFU 200 Aspheric 3D
光学部品を生産現場で高速2D / 3D測定。球面・非球面・フリーフォーム・特殊レンズ：輪郭、軸ズレ、ラジアル振れ／チルトエラー等
正確度： 100 nm PV未満の測定不確かさ 柔軟性： 光学式測定用の干渉計ポイントセンサーと 接触式測定用の豊富なプローブアームで、 表面を光学式と接触式で測定することができます。 最大45°までの傾斜のある回転対称形状のワーク、 最大28°までの軸外やフリーフォームを測定することができます。 測定原則： 光学部品のトポグラフィーを測定。 クイック 2D 測定によりレンズの全天頂にわたりプロファイルを取得。 3D 測定では90°ずれた2つの直線プロファイルを取得し、 全天頂にわたり単一シーケンスで測定を行います。 さらにC軸を回転させることで、 複数の同心円状のプロファイルが記録されます。 これらの測定点はトポグラフィーの生成に使われます。 位置決め可能なプローブアームにより、断続的な表面の測定も可能です。 防振キャビネットにより、振動や汚れなどの外部干渉から測定物を保護することができます。 操作と分析には、MarWin ソフトウエアを使用します。
基本情報
自動車業界等で高精度形状測定機として広く使用されている MarForm MFU 200 の技術と経験を、光学分野に応用しました。 測定手順 測定を開始する前に形状を選択し、 基準レンズのパラメータを設定してください。 次のステップで測定データが記録され、 基準レンズのノミナル値と比較されます。 RMS、PV、および傾斜誤差がパラメータとして表示されます。 ソフトウェアでは、 ノミナル非球面レンズを適合非球面レンズにあわせて調整する際に、 非球面の個々のパラメータを測定結果に合わせて調整できます。 （曲率半径 R0、円錐定数 k、非球面係数 Aiなど） 測定値とノミナルレンズ間のトポグラフィーの差異は、 色分けされた折れ線グラフで表示されます。 2D プロファイルおよびトポグラフィの差分は、 工作機械補正用に各種フォーマットでエクスポートできます。 球面および非球面の測定に加えてその他の回転対称形状の測定物も、 ノミナル形状を円錐プロファイルまたは 3D散布図のサジタルデータとして使用することにより、 測定および評価することができます。
価格情報
※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は株式会社イプロスのAIによって表示されております。
納期
用途／実績例
光学部品の2D / 3D測定 球面・非球面・フリーフォーム・特殊レンズの 輪郭、軸ズレ、ラジアル振れエラー、チルトエラー等を自動測定
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
この製品に関するニュース（2）
-
製品カタログをリリースしました：レンズ／光学部品用高精度3D測定ステーション『MarOpto MFU 200-3D』
＼新カタログリリース！／ 一回のセットアップでレンズの 輪郭・粗さ・軸オフセット・ラジアル振れ・チルトエラーを測定！ 光学式センサーと接触式プローブアームの独自の組み合わせにより、 光学部品そのものを基準とするシステム。 球面・非球面・シリンダーレンズ・フリーフォームに好適です。 ＜特長＞ ■ 測定不確かさ<100nm PV ■ 最大45°までの傾斜を測定可能 ■ ISO 10110-5に準拠した評価 ■ 1台で複数の測定タスクを自動化 ■ 減衰機能を備えた測定キャビネット：製造現場近くで使用可能 ■ 温度安定性が高い：校正が最小限で済み、生産性が向上 ■ 自動センタリング・チルティングテーブル搭載：高い再現性と時短 ＜パワフルなレンズ測定用ソフトウエア＞ ◎AspericLibソフトウェアパッケージ 球面・非球面・マウント面を測定し、結果を評価します。 ◎AnyShapeソフトウエアパッケージ 軸外しレンズ、トロイダル、特殊レンズ、フリーフォームレンズなどの より複雑な形状に最適化されており、これらを評価することができます。
-
【New!! 2023年春版 最新測定事例集をリリース】光学式 3D表面形状測定機『Marsurf CP/CL・CM』：世界の光学産業で採用された測定事例をご覧頂けます。
【『MarSurf CP/CL・CMシリーズ』最新測定事例集進呈中！】 ＜掲載測定事例／光学部品編 2023春編＞ ■ウエハーレベルレンズ／オプティクス（寸法・体積測定） ■マイクロレンズアレイ（幾何形状） ■車載用 LiDAR のマイクロレンズ（面精度（PV、RMS）） ■マイクロレンズ（設計図に対する形状検査） ■非球面マイクロレンズ（マスターとレプリカの比較） 他 CLは高速ラインセンサを搭載。 Z方向0.02μmの高分解能で100×100mmサイズを約1分で測定。 CPは Z方向6nmの高分解能。 ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応。 CMはポータブル型を含む共焦点顕微鏡。 2nmの高分解能をもち、大型・動かせないワークにも好適。 評価項目例 3D／2D： ・表面粗さ(R)・断面粗さ(S)・輪郭・真直度 ・断面積・層厚・反り/平坦度・形状・体積／摩耗
取り扱い会社
ノギスから光学式3D表面形状測定機、カスタマイズド全自動測定ステーションまで。 Mahrは160年の歴史を持つ、製造業向け精密測定機器の総合メーカーです。 自動車・航空宇宙・産業機械・半導体・光学部品などをはじめとした製造業では、 開発・生産・品証においてますます高い精度が要求されています。 製造業向け精密測定機器業界の世界的なアプリケーションスペシャリストとして、 Mahrはお客様の測定タスクに対応する最新のソリューションをご提案いたします。 多様化する素材や複雑な形状、工場自動化／省人化など、 測定に関する問題を解決し、お客様個別の測定事例に対応します。 【主な事業所】 ドイツ ：Göttingen・Esslingen・Jena チェコ ：Probostov アメリカ：Providence 中国 ：Suzhou
