【仕様(一部)】
■シャッター動作:エア駆動
■測定可能な直径
・min:10μm
・max:0.6mm double side/40mm single side
■分解能:0.1μm
■相対湿度:90% max
■保護等級(IEC 60529):IP67
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
セットアップ:デスクトップシステム
横方向測定範囲 / 移動範囲:150 mm x 150 mm
ステージ平坦度:± 5 μm
許容荷重:最大 10 kg
垂直移動範囲:25 mm
寸法 [W x D x H]: 475 mm x 450 mm x 434 mm
重量:29 kg
電源電圧:100-240 V, 50-60 Hz
ファイル形式:SUR, TXT, CSV
コンピューター:デスクトップ (モニター付き)
ソフトウェア:SolarScanNT, SolarMap