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ナノレイヤー膜厚測定用高精度非接触ゲージ『NCG-R』

厚いウエハから極薄ウエハ(1μm未満)まで厚さ測定が可能

被測定物を損傷させることなく、高精度な非接触測定を実現します。 あらゆる種類の表面や材料(高反射面を含む)に対し、極めて高い解像度で厚さ測定が可能です。 専用の光学センサーを搭載したNCG-Rシステムは、高い保護性能(IP規格準拠の筐体など)を備えた設計により、製造工程後の検査から工程内検査まで、幅広い用途に対応可能です。 薄膜、コーティング、ナノ層などの厚さ測定は、NCG-Rシステムの最大の特徴であり、卓越した性能を発揮します。NCG-Rコントローラー(可視光タイプ)は、あらゆる種類のセンサーヘッドに対応しており、測定範囲や使用環境(作業距離やスポットサイズなど)に最適化された性能を実現しています。

NCG-R

基本情報

仕様はカタログよりご参照ください。

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型番・ブランド名

NCG-R

用途/実績例

半導体産業、医療機器、電子部品など、極めて高い精度で非接触測定が必要なあらゆる分野に 最適なソリューションです。ナノメートルスケールの超薄膜層の検出も可能です。 用途例) - 半導体製造業界:ウエハ上の薄膜 - バックグラインディングまたはCMPによる加工中の制御 - 3C業界:基板や柔軟な電子部品へのコーティング技術

非接触式センサー反射測定型コントローラー『NCG-R』

製品カタログ

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取り扱い会社

マーポス株式会社は、世界のものづくりのパートナーを目指すイタリアのマーポスグループの日本法人として1970年に設立されました。 製造工程における機械加工中、加工後に使用する精密測定、検査及びプロセス管理システムを国内50年以上にわたりご提供しています。 ICE(内燃機関車)およびEV(電気自動車)ともに大手自動車メーカーのメインサプライヤーであり、半導体、航空宇宙、医療分野、エネルギー、家電業界へもサービスを展開しています。 お客様の規模や業種にかかわらず、品質向上、合理化、フレキシブル化、生産性向上のためにマーポスの技術とノウハウをもって果敢に貢献しつづけます。 さらに、マーポスの企業理念に則りトータル・クオリティの向上を追い求め、ISO 9001:2015の認証を受け、日本での設計、製造、組立も行っています。 国内に6ヶ所、海外に2ヶ所の拠点があり、地域のお客様に密接したサービスを提供しています。