光干渉測定器『NCG』

サイクルタイムを短縮！汎用性があり、簡単に使えるように設計されている光干渉測定器

最終更新日 2025年02月04日

ナノレイヤー膜厚測定用高精度非接触ゲージ『NCG-R』

厚いウエハから極薄ウエハ（1μm未満）まで厚さ測定が可能

最終更新日 2025年11月21日

インターフェロメトリコントローラー『HORIZON』

インターフェロメトリック（干渉計）技術を使用し、透明、不透明のフィルムの厚さ測定が可能

最終更新日 2025年11月25日

ダイシングマシン用センサー『VBI（ブレード検査システム）』

チップ製造のサイクルタイム短縮と高品質を実現！ウェーハ切断中のブレード監視用センサー

最終更新日 2025年11月18日

接触式／非接触式ハイブリッド厚さ測定アプリケーション『P3CF』

白色光を透過する様々な材料の非接触厚み測定を実現

最終更新日 2025年02月13日

クロマティックコンフォーカル技術、厚さ測定向け非接触式測定

デリケートなワークを傷つけず、破壊検査なしで高品質なワークを生産可能。ワークや環境の変動に強い完全同期システムです。

最終更新日 2025年02月12日

衝突モニタリングと機械保護モジュール『GEMCMS』

衝突が発生すると、1ms以内に停止信号を起動！損傷をできるだけ抑えます

最終更新日 2024年04月24日

プローブカード検査『AOP-PCI』

要求の厳しい複雑な表面測定に対応する高精度3D表面計測

最終更新日 2025年05月16日

光学式3D表面粗さ・形状測定機『VIKING（バイキング）』

様々な表面で、高速かつ広範囲な非接触/非破壊測定を実現

最終更新日 2025年05月08日

CCDカメラ搭載非接触工具測定システム『VTS SF-45』

トップクラスの繰り返し精度と測定性能を維持しつつ、大幅な小型化を実現。金型加工機や微細加工機などの限られたスペースに設置可能

最終更新日 2025年01月27日

CCDカメラ搭載非接触工具測定システム『VTS WF』

トップクラスの繰り返し精度と測定性能を維持しつつ、計測エリアを拡大。研削工具や特殊形状の工具の計測や摩耗管理に好適。

最終更新日 2025年09月01日