ジボラン専用圧力調整器『S-TORRV1900シリーズ』
接ガス部のネジ構造を排除！パーティクル低減を実現したジボラン専用圧力調整器
『S-TORRV1900シリーズ』は、内部リークを抑えるため、デカボランの 生成しづらい好適な中間圧に設計されたジボラン専用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いている TORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 【特長】 ■ジボラン専用二段減圧式機種 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■内部リークを抑えるため、デカボランの生成しづらい好適な中間圧に設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【性能】 ■入口側最高使用圧：15MPa ■出口側最高使用圧：0.6MPa ■最大流量：30L/min(nor)(P1=10MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS） ■使用温度：-5～40℃ ■重量：1.2kg(2ポート)、1.6kg(3ポート) ■内蔵フィルター濾過度：20μm ■接ガス金属部面粗さ：Ra0.25μm(オプション：Ra0.1μm） ■出入口ポート口径：1/4" ■外部リーク量：1.3×10^-11Pa・m3/sec以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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取り扱い会社
日酸TANAKA株式会社は、オリジナル技術を核として、顧客が満足する製品とサービスを提供することにより、切断、溶接、ガス制御のトータルソリューションを目指しています。 長年の実績と独自の技術を活かし、お客様のニーズにお応えする、レーザ切断機、プラズマ切断機、ガス切断機、その他様々な製品の開発とラインナップを目指し、昨日の夢を今日の現実として産業界に貢献しています。
