半導体ガス用圧力調整器
半導体ガス用圧力調整器
半導体材料ガスの供給に適したハイエンドの圧力調整器です。
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超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV02シリーズ』
小型のアウトレットパネルを設計可能！装置への組み込みにも好適な圧力調整器
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超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV30/30SHシリーズ』
接ガス部のネジ構造を排除！非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現！
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超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』
一次室の流路にフィルターを内蔵！特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます
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超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV1300シリーズ』
接ガス部のネジ構造を排除！出荷検査を全数に実施した超高純度ガス用圧力調整器
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超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV2300シリーズ』
一次側高圧用中流量機種！一次減圧設備に広くご使用いただいております
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超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV2300SH/AH』
TORR調整器をベースに開発！Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施！
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超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRVA10シリーズ』
負圧制御、低蒸気圧用機種！一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
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超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRVT50シリーズ』
出荷検査を全数に実施！タイドダイヤフラム式の超高純度ガス用圧力調整器のご紹介
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ジボラン専用圧力調整器『S-TORRV1900シリーズ』
接ガス部のネジ構造を排除！パーティクル低減を実現したジボラン専用圧力調整器
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高純度ガス用圧力調整器『TORR-30シリーズ』
一次室の流路にフィルターを内蔵！減圧後の設備に幅広く使用可能な圧力調整器
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高純度ガス用圧力調整器『TORR-50／80シリーズ』
電解研磨仕様品の製作も可能！"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器
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高純度ガス用圧力調整器『TORR-150シリーズ』
一次側低圧用中流量機種！組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施！
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高純度ガス用圧力調整器『TORR-350シリーズ』
一次側低圧用大流量機種！"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器
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高純度ガス用圧力調整器『TORR-800シリーズ』
半導体ガス用圧力調整器の代名詞！Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施！
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高純度ガス用圧力調整器『TORR-1300シリーズ』
一次側高圧用標準機種！電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整器
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高純度ガス用圧力調整器『TORR-2300シリーズ』
内部リーク発生を低減！一次減圧設備や蒸気圧の高い液化ガスの一次減圧設備で使用可能
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高純度ガス用圧力調整器『TORR-2500シリーズ』
出荷検査を全数に実施！一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減！
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圧力調整器『TORR-3300シリーズ』
ご希望の仕様に合わせて都度製作！Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
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圧力調整器『TORR-2800/2800SHシリーズ』
一次室の流路にフィルターを内蔵している液化ガス、腐食性ガス用大流量機種
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圧力調整器『TORR-Hシリーズ』
電解研磨仕様品の製作も可能！Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
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圧力調整器『TORR-Lシリーズ』
出荷検査を全数に実施！組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています
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超高純度ガス用周辺機器『圧力計』
S-TORR、TORR調整器でも使用！クリーンな環境で厳重な品質管理のもとで製作
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圧力スイッチ『TPSシリーズ』
設定圧力を変えることができ、軽量・コンパクトで取り扱いが容易な圧力スイッチ
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ドイツOrbitalum社製 配管自動溶接機と周辺機器のご案内
半導体工場をはじめとする高純度配管施工業者様におすすめです！ ※セミコンジャパン2024へ出展！新製品を展示・実演いたします
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選定ガイド『圧力調整器選定の手引き』
用途に合う圧力調整器が見つけやすい！単位換算や用語解説など基礎知識も掲載
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