高純度ガス用圧力調整器『TORR-2300シリーズ』
内部リーク発生を低減！一次減圧設備や蒸気圧の高い液化ガスの一次減圧設備で使用可能
『TORR-2300シリーズ』は、電解研磨仕様品の製作も可能な 高純度ガス用圧力調整器です。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器で、Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施。 一次高圧用の中流量機種として「TORR-1300」よりも流量の求められる 一次減圧設備や蒸気圧の高い液化ガスの一次減圧設備でお使いいただいて おります。 【特長】 ■一次側高圧用中流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【性能】 ■入口側最高使用圧：20MPa ■出口側最高使用圧：1.0MPa ■最大流量：1、400L/min（nor)（P1=8MPa、P2=1.0MPa、N2 GAS） ■使用温度：-5～40℃ ■重量：1.8kg（4ポート) ■内蔵フィルター濾過度：20μm ■出入口ポート口径：1/4" ■外部リーク量 ・1.3×10^-9Pa・m3/sec以下（ネジ式接続) ・1.3×10^-10Pa・m3/sec以下（溶接接続) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
取り扱い会社
日酸TANAKA株式会社は、オリジナル技術を核として、顧客が満足する製品とサービスを提供することにより、切断、溶接、ガス制御のトータルソリューションを目指しています。 長年の実績と独自の技術を活かし、お客様のニーズにお応えする、レーザ切断機、プラズマ切断機、ガス切断機、その他様々な製品の開発とラインナップを目指し、昨日の夢を今日の現実として産業界に貢献しています。
