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高純度ガス用圧力調整器『TORR-800シリーズ』

半導体ガス用圧力調整器の代名詞!Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施!

『TORR-800シリーズ』は、TORRシリーズで最大級のサイズの圧力調整器です。 通常の圧力調整器と同じ操作感で使用可能な調圧ハンドル式の 「TORR-800Gシリーズ」と、より大きな流量が供給可能なパイロット式の 「TORR-800Mシリーズ」が選択可能。 また、「TORR-800Mシリーズ」よりも更に大流量の供給が可能な 「TORR-800Fシリーズ」もあります。より流量を必要とされる場合は お問い合わせください。 【特長】 ■一次側低圧用大流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■TORRシリーズで最大級のサイズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

関連リンク - http://nissantanaka.com/product/semiconductor/hand…

基本情報

【性能】 ■入口側最高使用圧:1.0MPa ■出口側最高使用圧:0.6MPa ■最大流量 ・800G:280m3/h(nor)(P1=0.7MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS) ・800M:500m3/h(nor)(P1=0.9MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS) ■使用温度:-5~40℃ ■重量:32kg(800Gシリーズ) / 38kg(800Mシリーズ) ■外部リーク量:1.3×10^-4Pa・m3/sec以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

価格帯

納期

用途/実績例

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

高純度ガス用圧力調整器『TORR-800シリーズ』

製品カタログ

この製品に関するニュース(1)

取り扱い会社

日酸TANAKA株式会社は、オリジナル技術を核として、顧客が満足する製品とサービスを提供することにより、切断、溶接、ガス制御のトータルソリューションを目指しています。 長年の実績と独自の技術を活かし、お客様のニーズにお応えする、レーザ切断機、プラズマ切断機、ガス切断機、その他様々な製品の開発とラインナップを目指し、昨日の夢を今日の現実として産業界に貢献しています。

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