高純度ガス用圧力調整器『TORR-1300シリーズ』
一次側高圧用標準機種！電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整器
『TORR-1300シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている "半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一次高圧用の標準機種としてシリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に 広くご使用いただいております。 【特長】 ■一次側高圧用標準機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【性能】 ■入口側最高使用圧：15MPa ■出口側最高使用圧：1.0MPa ■最大流量：550L/min（nor)（P1=10MPa、P2=1.0MPa、N2 GAS） ■使用温度：-5～40℃ ■重量：1.3kg（4ポート) ■内蔵フィルター濾過度：5μm ■出入口ポート口径：1/4" ■外部リーク量 ・1.3×10^-9Pa・m3/sec以下（ネジ式接続) ・1.3×10^-10Pa・m3/sec以下（溶接接続) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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この製品に関するニュース（1）
取り扱い会社
日酸TANAKA株式会社は、オリジナル技術を核として、顧客が満足する製品とサービスを提供することにより、切断、溶接、ガス制御のトータルソリューションを目指しています。 長年の実績と独自の技術を活かし、お客様のニーズにお応えする、レーザ切断機、プラズマ切断機、ガス切断機、その他様々な製品の開発とラインナップを目指し、昨日の夢を今日の現実として産業界に貢献しています。
