高純度ガス用圧力調整器『TORR-2500シリーズ』
出荷検査を全数に実施!一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減!
『TORR-2500シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている "半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 一次高圧用の大流量機種として「TORR-2300」よりも流量の求められる ガス供給設備などで使用可能。Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施しています。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っており、フィルターを 内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。 【特長】 ■一次側高圧用大流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■「TORR-2300」よりも流量の求められるガス供給設備などで使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【性能】 ■入口側最高使用圧:15MPa ■出口側最高使用圧:1.0MPa ■最大流量:180m3/h(nor)(P1=8MPa、P2=1.0MPa、N2 GAS) ■使用温度:-5~40℃ ■重量:4.9kg ■出入口ポート口径:3/8" ■外部リーク量:1.3×10^-6Pa・m3/sec以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途/実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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日酸TANAKA株式会社は、オリジナル技術を核として、顧客が満足する製品とサービスを提供することにより、切断、溶接、ガス制御のトータルソリューションを目指しています。 長年の実績と独自の技術を活かし、お客様のニーズにお応えする、レーザ切断機、プラズマ切断機、ガス切断機、その他様々な製品の開発とラインナップを目指し、昨日の夢を今日の現実として産業界に貢献しています。