各種 半導体関連 洗浄装置
各種 半導体関連 洗浄装置
各種洗浄装置
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ダイシングリング洗浄装置/産業機械
ジェット洗浄タイプ（非接触式）と、スクラブ洗浄タイプ（接触式）の2種類の仕様から選べるダイシングリング（フレーム）洗浄装置
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バッチ式洗浄装置/産業機械
クリーン化技術・搬送／制御 技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄装置を提供いたします！
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量産向け枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置/産業機械
昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用した剥離性能の高い 枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置
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試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置/産業機械
昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用した剥離性能の高い 枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置
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研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置/産業機械
昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥離性能の高い枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置【テスト可】
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IPA 蒸気洗浄装置/産業機械
デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず 、高純度のIPA を用いたクリーン乾燥が可能
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医薬/ 製薬/ライフサイエンス向けcGMP･FDA対応洗浄機
細かな御要望に対応可能なGMP･FDA･EHEG対応 洗浄機(医薬品製造設備向け) ※デモ対応可（Atec Japan）
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標準タイプクリーンローラー【RYシリーズ】/産業機械
インラインにもアウトラインにも好適な除塵装置です。 2連から5連まで取り揃えております。
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クリーンローラー『RYシリーズ』薄板対応タイプ/産業機械
薄板対応の除塵装置。 駆動部にマグネットギアを採用！この一台で幅広い基板厚に対応可となっております
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除塵 ロールtoロール『RUTRシリーズ』/産業機械
御社仕様のユニットローラーをご提案いたします。
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【半導体微細化向け】レジスト剥離・リフトオフ装置
微細加工プロセスを支える、高精度・高効率レジスト剥離装置
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【半導体微細化向け】レジスト剥離・リフトオフ装置
微細加工プロセスを支える、高性能レジスト剥離装置
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【MEMS向け】枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置
高精度なMEMS製造を支える、剥離性能と省フットプリントを両立。
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【MEMS向け】枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置
高精度なMEMSデバイス製造をサポートするレジスト剥離・リフトオフ装置
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