3kWマイクロ波発振器『MPS-30W-DC-CE』
粉塵環境・結露に強い!3kWのプラズマ励起用マイクロ波発振器
基本情報
【仕様】 ≪電源部 MPS-30W-DC-CE≫ ■入力電源:三相190V~220V 50/60Hz ■入力容量:7KVA以下 ■出力安定度:190V~220Vの入力変動に対し、±2%以内(3kW 出力時) ≪発振部 MG-30CJ-W-CE / MG-30CT-W-CE≫ ■発振周波数:2455MHz±20MHz ■出力電力定格:500W~3000W 連続可変 ※マッチング負荷 ■冷却方式:水冷(4L/分以上、水温30℃以下、水圧6.9×10 5Pa以下) ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
仕様により異なりますので、お問い合わせ下さい。
納期
用途/実績例
基板アッシング装置で多数の導入事例あり。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。