製品サービス
製品・サービス
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マイクロ波発振器(10)
周波数2450ＭＨｚのマイクロ波を発生させる機器で、主にプラズマ放電やマイクロ波誘電加熱、マイクロ波による化学反応のためのパワーソースとして使用されます。 当社システムは、大手半導体装置メーカーや電子デバイスメーカー向けに30年以上の供給実績があります。 機器構成としては、マイクロ波を発振するマグネトロン管が収納された「発振部」、発振部に所定の電流/電圧を供給するための「電源部」、発振部と電源部を接続するためのケーブルセット（標準７ｍ）の３点セットとなります。 1700Ｗ、3000Ｗ、6000Ｗの3種のラインナップがあり、それぞれ小型・軽量、リモート・コントロール機能等の特徴を持っています。
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整合器(4)
負荷（マイクロ波の照射対象）に対して、マイクロ波を効率良く伝送させるために、負荷と発振源とのインピーダンスを整合させるための機器です。 導波管内の定在波を検出し、負荷のインピーダンスを算出した上で、自動で整合を行うタイプと、人間が反射メータを見ながらスタブ調整を行う手動タイプの２種類があります。 インピーダンス変動の大きいプラズマ負荷の場合には、自動整合器が必須と言えます。
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アイソレータ(2)
反射マイクロ波から発振器を保護するための機器です。 負荷（加熱対象）へのマイクロ波照射が適切でない場合、あるいは元々マイクロ波を吸収しにくい負荷の場合には、吸収されなかったマイクロ波が反射波として発振器側へ戻ってきてしまい、マグネトロンを逆加熱して壊してしまいます。 これを防ぐため、反射波をダミーロード側へ曲げ、ダミーロードに吸収させるものがアイソレータです。 空冷タイプと水冷タイプの２種類があります。
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導波管 / 変換導波管(3)
一般的に、3GHz以下の伝送線路としては同軸線路がよく用いられますが、工業用途のkWレベルのマイクロ波電力の伝送路としては導波管を用います。（導波管による線路を、ケーブルに対比する形で「立体回路」と呼びます） 導波管は、伝送周波数や目的に応じて様々な規格のものが存在しますが、弊社で製作販売しているのは主にWRJ-2規格導波管とWRT-2規格導波管（いわゆる東芝規格導波管）の２種類となります。 ストレート管、Ｅコーナー、Ｈコーナーの定形品（材質はアルミ）を標準在庫するようにしている他、特注対応（材質をステンレスにしたい、特注寸法のものが欲しい等）もしております。 同軸導波管変換器は、導波管から同軸管に線路変換する際に使うもので、弊社でご用意しているのはWRJ-2⇔WX-39D、WRJ-2⇔WX-20Dの２種となります。 気密窓は、マイクロ波立体回路と減圧負荷（真空チャンバなど）の間に挿入することで、減圧負荷へのマイクロ波の導入を可能にします。又、挿入することで、導波管内へのガス（加熱対象からのアウトガス、水蒸気等）の侵入を防止する使い方もあります。
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その他機器(6)
異常放電検出器は、その名の通り、導波管内の異常放電を検出したらアラーム信号を出力する保護機器です。導波管内で異常放電が起きると、たいてい甚大な被害（マグネトロンの破損等）につながるため、初めて行う実験、マイクロ波をあまり吸わない（誘電率,誘電正接が低い）試料であることが予め判っている場合....などに使用するとよいでしょう。 可動短絡板は、プランジャー部分を導波管（基本的にストレート管）に挿入して伝送経路の終端に取り付け、定在波調整用の終端調整器として使用します。
