マイクロ波発振器『MPSシリーズ』
独自設計で粉塵環境や結露に強い。
『MPSシリーズ』は、小型の熱交換器を内蔵し、粉塵環境や結露に強い完全水冷式のマイクロ波発振器です。 CE認証を取得済みで、電源部と発振部はセパレートタイプを採用。 外部コントロール機能も充実。 均一かつ急速での加熱に対応し、表面処理用途に適しており、 半導体・食品・化学業界などの現場で活用可能です。 【ラインアップ】 ◎プラズマ励起用 ■3kWマイクロ波発振器「MPS-30W-DC-CE」 ■6kWマイクロ波発振器「MPS-60W-DC-CE」 ■6kWマイクロ波発振器「MPS-60W-400-CE」 ◎マイクロ波誘電加熱用 ■6kWマイクロ波発振器「MPS-60W-AC」 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
【特長】 ■3kWマイクロ波発振器「MPS-30W-DC-CE」 ・基板アッシング装置で導入実績多数 ・低出力リップルで安定したプラズマを生成 ■6kWマイクロ波発振器「MPS-60W-DC-CE」 ・低出力リップルで安定したプラズマを生成 ・入力電源：3相190V～220V 50/60Hz ■6kWマイクロ波発振器「MPS-60W-400-CE」 ・直列共振回路技術採用により高効率 ・入力電源3相AC400Vで使用可能 ■6kWマイクロ波発振器「MPS-60W-AC」 ・直列共振回路技術採用により高効率 ・6kW小型・高出力のマイクロ波電源 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
価格帯
納期
用途／実績例
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