マイクロ波発振器

　周波数2450ＭＨｚのマイクロ波を発生させる機器で、主にプラズマ放電やマイクロ波誘電加熱、マイクロ波による化学反応のためのパワーソースとして使用されます。　当社システムは、大手半導体装置メーカーや電子デバイスメーカー向けに30年以上の供給実績があります。　機器構成としては、マイクロ波を発振するマグネトロン管が収納された「発振部」、発振部に所定の電流/電圧を供給するための「電源部」、発振部と電源部を接続するためのケーブルセット（標準７ｍ）の３点セットとなります。　1700Ｗ、3000Ｗ、6000Ｗの3種のラインナップがあり、それぞれ小型・軽量、リモート・コントロール機能等の特徴を持っています。