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最先端アライメントに好適! 多軸&高速＆高精度を合わせ持ったヘキサポッドとピエゾステージの統合位置決めシステム！

システム駆動軸：9軸 ＜ヘキサポッドラフポジショニング＞ 　トラベルレンジ： X, Y, Z＝±17, ±16, ±6.5mm、θX, θY, θZ＝±10, ±10, ±21度 　最小移動量：XY=0.1µm、Z=0.05µm 　ロータリーエンコーダ ＜ピエゾファインポジショニング＞ 　トラベルレンジ： X, Y, Z＝100µm 　最小移動量：2.5nm 　内蔵センサー ＜システム専用コントローラ＞ 　C-887型ヘキサポッドアナログ入力付属コントローラ＆ソフトウェア 　E-712型デジタルピエゾコントローラアナログ入力付属 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

高速動作・中程度耐荷重が特長のパラレルキネマティック・ヘキサポッド

高精度6軸システム 自由6軸パラレル可動設計による、シリアル可動システムを超える小型化と堅牢性、高ダイナミックレンジ、無ケーブル移動実装。さらに高い信頼性と低摩耗性を実現。 アプリケーション分野 研究および産業：微細操作、レーザーアライメント/工学アライメント、バイオテクノロジー、ツール制御

最大トラベルレンジは813mm！循環式ボールベアリング採用により450Nまで耐可

【ラインアップ】 ■L/V-412 ■L/V-417 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

スキャンアプリケーションや高精度の位置決めに最適

※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

高精度でプラットフォームの位置を直接測定！ステージの位置が機械的に安定するように維持します。

【技術データ（抜粋）】 ■駆動軸：X、Y ■移動範囲：22mm×22mm ■速度、クローズドループ：200 ■双方向繰り返し性：±0.2 ■ピッチング：±60 ■ヨーイング：±300 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高負荷および力発生用に、オプションで位置センサー内蔵タイプを用意

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。