高速・6自由度フォトニクスアライメント F-713.Hxx
片面および両面、直立およびロープロファイル、高精度アライメントルーチン
ヘキサポッド6軸モーターステージと、XYZ軸ピエゾステージを組み合わせた高速・高精度フォトニクスアライメントシステム。 SiPhウェーハ、フォトニックデバイス、PIC、および光ファイバーに最適化されたスキャン/アライメントルーチン、強力な配列アライメントアルゴリズムで、高速・高精度、かつ同時アライメントを可能にします。 ヘキサポッドは、6軸をDCサーボモータ駆動で動作、サブミクロン位置決めが可能。 また様々なデバイスに合わせて、任意に回転中心の設定が可能です。 XYZ軸ピエゾステージは、ナノレベル位置決めが可能で、高い共振周波数で高速応答・スキャンを可能にします。 WindowsおよびLinux上のC#、Python、LabVIEW、MATLABなどの一般的な言語のサポートを含む、迅速なプロセス開発のための広範で深いソフトウェアサポート。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
基本情報
システム駆動軸：9軸 ＜ヘキサポッドラフポジショニング＞ トラベルレンジ： X, Y, Z＝±17, ±16, ±6.5mm、θX, θY, θZ＝±10, ±10, ±21度 最小移動量：XY=0.1µm、Z=0.05µm ロータリーエンコーダ ＜ピエゾファインポジショニング＞ トラベルレンジ： X, Y, Z＝100µm 最小移動量：2.5nm 内蔵センサー ＜システム専用コントローラ＞ C-887型ヘキサポッドアナログ入力付属コントローラ＆ソフトウェア E-712型デジタルピエゾコントローラアナログ入力付属 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
価格帯
納期
用途／実績例
・シリコンフォトニクスアライメント＆組立て ・光ファイバーアライメント＆組立て ・微小部品アライメント＆組立て ・光学部品アライメント ・光学部品試験 ・各種計測
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この製品に関するニュース（2）
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研究開発の精度を高める！研究現場向け「位置決め」製品特集のご紹介
厳しい水準と環境のもと、高い精度や再現性を研究開発では求められます。 ピーアイでは、50年以上にわたる実績で既存の実験環境にスムーズに統合できるコンポーネントやシステム、ソリューションの開発・製造に取り組んできました。 LabVIEW、MATLAB、Pythonなどの主要なソフトウェアとの互換性とオープンインターフェースにより、さまざまな研究環境へのスムーズな統合と、柔軟なカスタマイズが可能。 研究現場での導入におすすめの製品ラインナップをピックアップしました。
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【展示会情報】ピーアイ・ジャパンは「OPIE'25」に出展します
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ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。