ピエソモータ
ピエソモータ
当社が取り扱っている「ピエソモータ」のご紹介です。
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範囲に制限なしの高速小型回転ステージ『U-628』
精密クラスの回転ステージ!オプションで真空バージョンも取り扱っております。リファレンスポイントスイッチで中央の開口部は直径7mm
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PILine 高速・薄型回転ステージ『U-651』
内蔵のインクリメンタルエンコーダーは最大4μ radの分解能!精密な位置コントロールを行います
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PILine XYステージ『U-723』
高精度でプラットフォームの位置を直接測定!ステージの位置が機械的に安定するように維持します。
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注油不要!PILineピエゾモーターXY軸ステージ『U-751』
ボールねじ、ギア、その他機械部品なし、摩耗がなくメンテナンスフリー。最大5gまで高加速。最高速度500mm/s
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PILine ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージ『U-780』
0.1μmの分解能!熱負荷が低く潤滑も不要なため、高い水準の安定性。最大135mm×85mmのトラベルレンジ
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