静電容量センサー
静電容量センサー
サブナノ精度の位置計測を可能にするピーアイの容量式センサー。非接触・直接計測により高精度位置決めや振動測定に対応しています。
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サブナノメートル分解能の位置センサー D-050・D-100
最大測定範囲150µm、高精度なナノ変位制御に対応
最終更新日
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高い位置分解能を実現・非接触測定 単電極センサー D-510
分解能1 nm未満・最大帯域10 kHzの非接触変位計測センサー
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【精密機械向け】高分解能静電容量センサー D-050・D-100
最大300µm測定範囲、0.01nm分解能の非接触変位センサー
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【ナノテク向け】高分解能静電容量センサー D-050・D-100
サブナノメートル分解能でナノ変位測定を実現。ナノ材料評価・ナノ位置決めに最適な非接触変位センサー
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【精密機械向け】サブナノ分解能・静電容量変位センサー D-510
サブナノメートル分解能の非接触変位測定。精密加工装置の位置制御と加工精度向上に貢献
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【研究開発向け】サブナノ分解能・静電容量変位センサー D-510
サブナノメートル分解能・最大10 kHz帯域 ナノレベルの非接触変位計測を実現
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【半導体装置向け】ナノ変位測定 静電容量センサー D-510
サブナノメートル分解能・最大10 kHz帯域。ウェーハ位置制御に最適な非接触静電容量センサー
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