エアベアリング
エアベアリング
ピーアイのエアベアリングは、非接触エアベアリングとダイレクトドライブにより摩擦ゼロの滑らかな動作を実現。ナノレベル精度と優れた直進性で高精度の位置決めに対応しています。
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300mm高速XYエアベアリングプラナースキャナ A-311
エア浮上×リニアモータで摩耗ゼロ。最大速度2m/s、センサー分解能1nm
最終更新日
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小型リニアエアベアリングステージ A-143 高精度タイプ
摩擦ゼロ。25 mmの移動範囲で±0.2 µmの高精度位置決めを実現
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エアベアリング搭載・摩擦のない回転ステージ A-63x
薄型で、駆動面積と耐荷重の違いで4種類のサイズ違いがあり、エンコーダーも2種類対応の高精度エアベアリング回転ステージです。
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クリーンルーム環境でも使用可能・摩擦レス・3軸方向 A-65x
3軸回転を摩擦ゼロで実現する半球型エアベアリング
最終更新日
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【光学向け】エアベアリング A-311
エア浮上×リニアモータで摩耗ゼロ。最大速度2m/s、センサー分解能1nm
最終更新日
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【半導体検査向け】エアベアリング A-311
エア浮上×リニアモータで高速・高精度ウェーハ検査を実現
最終更新日
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【電子部品向け】エアベアリング A-311
エアベアリング×リニアモータによる非接触駆動。基板・部品検査の高速化と安定化に貢献
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【半導体製造向け】エアベアリング回転ステージ A-62x
ナノレベルの精度で、半導体製造プロセスを革新。
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【計測・検査向け】エアベアリング回転ステージ A-62x
摩擦ゼロの回転精度で、校正作業の精度向上に貢献
最終更新日
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【光学調整向け】エアベアリング回転ステージ A-62x
ナノレベルの精度で光学系の調整をサポート
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【光学アライメント向け】クリーンルーム環境での使用可 A-121
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
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【半導体検査向け】高精度位置決めに最適 A-121
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
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【FPD製造向け】小型リニアエアベアリングステージ A-143
摩擦ゼロ、高精度位置決め。FPD検査工程の品質向上に貢献。
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【レーザー加工向け】A-143 高精度リニアステージ
レーザー切断の精度を向上。±0.2 µmの高精度位置決めを実現。
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エアベアリング回転ステージ PIglideA-62x高精度モデル
摩擦ゼロの回転精度。平面度200nm以下で光学検査に最適
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高性能・省スペース設計 直動エアベアリングステージ A-121
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
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エアベアリングボイスコイルリニアステージA-142PIglide
5nm分解能・200mm/sで高速・滑らかなサブミクロン動作を実現
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スキャンや高精度位置決めに エアベアリングステージ A-110
スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ
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非接触エアベアリング技術採用の高精度回転モジュール A-60x
摩擦ゼロで超高精度回転を実現するエアベアリングモジュール
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大口径エアベアリング・超高精度用途向け回転ステージ A-68x
最大260mmの大開口を備えた薄型・高精度エアベアリング回転ステージ
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【精密測定向け】小型リニアエアベアリングステージ A-143
摩擦ゼロ、高精度位置決めを実現する小型エアベアリングステージ
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【半導体製造向け】A-143 高精度リニアエアベアリングステージ
摩擦ゼロ、±0.2 µmの高精度位置決めを実現する小型ステージ
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【光学機器向け】小型リニアエアベアリングステージ A-143
摩擦ゼロ、高精度位置決め。光学機器の調整作業を革新。
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【光学向け】大開口・エアベアリング回転ステージ A-68x
薄型・高精度、光学系の調整に最適なエアベアリング回転ステージ
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高精度・高速制御を実現するXY多軸システム X-417
用途に合わせて、必要な軸数や動作仕様に合った組合せで構成が可能
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【研究開発向け】柔軟に構成可 多軸モーションシステム X-417
用途に応じて軸数や仕様を自由に構成できる多軸モーションシステム
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【光学向け】高精度位置決めに エアベアリングステージ A-110
光学系の精密調整に。高精度な位置決めを実現するエアベアリングステージ
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【計測校正向け】耐荷重最大100N エアベアリング A-110
高精度な校正作業をサポートするエアベアリングステージ
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Z方向・チップ/チルト対応エアベアリングステージ A-523
1枚の薄型プラットフォームで、3軸動作可能な高精度エアベアリングステージをリリース！
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【半導体製造向け】Z方向・チップ/チルトステージ動作 A-523
1枚の薄型プラットフォームで、3軸動作可能な高精度エアベアリングステージ
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