ピエゾポジショニングシステム

ピエゾポジショニングシステム
○ナノ制御ポジショニング ピエゾスキャナー1~6軸 ○顕微鏡用Z軸 ピエゾスキャナー(PIFOC) ○コントローラー ○静電容量型センサー
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【オートフォーカス】顕微鏡対物レンズ⽤ピエゾステージ
100μm のストロークをサブナノメートルの分解能と⾼いリニアリティで位置決め可能!
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PIFOC 高荷重対物レンズスキャナー P-726
大型対物レンズの高ダイナミックピエゾZスキャナー。静電容量センサーによるダイレクト計測で高リニアリティ、安定性、ダイナミクス実現
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P-737 PIFOC試料フォーカシングZステージ
顕微鏡標本用の薄型ロングストローク ピエゾZナノポジショナー。ストローク~250μm (500μmまでカスタマイズ可能)
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P-753 LISAリニアアクチュエータおよびステージ
高ダイナミック、超高安定性を誇るピエゾナノポジショナー。分解能0.05nm、高速応答
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P-752高精度ナノポジショニングステージ
超高ガイド精度を誇る!最大位置決め/スキャニングレンジが35μm、超高速セットリングタイムと、直進性が非常に高い
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P-611.1ピエゾナノポジショナー
低価格で、設置面積わずか44 x 44mmのコンパクトな、リニアポジショニングシステム
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PIHeraピエゾリニアステージP-620.1~P-629.1
ストロークの長い、コンパクトなナノポジショニングシステムシリーズ。ストローク50~1800μm
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P-517~P-527多軸ピエゾスキャナ
ダイレクト計測機能を備える高ダイナミックナノポジショナー/スキャナ
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P-734 XY ピエゾスキャナ
振れを極限まで抑える、センター開口部付き高ダイナミックシステム。100 x 100μmのリニアストロークを実現します。
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P-611.XZ・P-611.2 XZおよびXZナノポジショナー
ナノポジショニングのためのコンパクトな2軸ピエゾシステム。設置面積44x44mmのフレクシャガイドナノポジショニングシステム
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3軸高精度位置決めピエゾステージ P-561-P-563
高精度ナノポジショニングステージ、3~6軸
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P-611.ZピエゾZステージ
コンパクトナノポジショナー。クローズドループストローク100μmを特徴とする、ピエゾベースのナノポジショニングシステムです。
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P-5x8シリーズ ピエゾZ/チップ/チルトステージ
最大240μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能を実現します。
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PIHera高精度ステージ P-620.Z-P-622.Z
最終段位置計測と長いストロークを特徴とするナノポジショニングシステムシリーズ。0.02%の位置決め精度!
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S-330ピエゾチップ/チルトプラットフォーム
高ダイナミック、大動作角のピエゾチップ/チルトプラットフォームにより高速のステアリングミラーが可能。
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PIglide 直動エアベアリングステージ『A-110』
スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ
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PIMag リニアモーターコントローラ『C-413』
PIMagボイスコイル駆動のためのデジタルモーションコントローラ。幅広いサポート機能が搭載
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PICMAWalk ウォーキングドライブ『N-331』
55mm角のコンパクトなシリーズ!PICMA技術による堅牢なウォーキングドライブ!
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XYZ軸ピエゾステージ『P-611.3/P-616』
パラレルメカニズムのため3軸とも同一性のあるダイナミック特性!
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高速チップ・チルトピエゾミラーステージ『S-335』
小型パッケージながら大きな偏向角が可能!歪みセンサによる高リニアリティ!幅広い温度範囲に渡り、 ダイナミクスと位置の安定性を実現
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PILine XYステージ『U-723』
ピエゾモータ駆動により22mm動作の小型XY軸ステージ セルフロックで位置保持
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