ピエゾポジショニングシステム

ピエゾポジショニングシステム
○ナノ制御ポジショニング ピエゾスキャナー1~6軸 ○顕微鏡用Z軸 ピエゾスキャナー(PIFOC) ○コントローラー ○静電容量型センサー
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【オートフォーカス】顕微鏡対物レンズ⽤ピエゾステージ
100μm のストロークをサブナノメートルの分解能と⾼いリニアリティで位置決め可能!
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高荷重対物レンズフォーカススキャナ P-726
100 µmのストローク、システム分解能0.4nm、荷重210g時でも560Hzの共振周波数
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P-737 PIFOC試料フォーカシングZステージ
顕微鏡標本用の薄型ロングストローク ピエゾZナノポジショナー。ストローク~250μm (500μmまでカスタマイズ可能)
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0.1 nm分解能 ピエゾナノアクチュエータ P-753
15–38 µmストローク、0.1 nm分解能、小型高速応答ピエゾステージ
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0.1 nm分解能 ナノポジショニングステージ P-752
最大35 µmストローク×0.1 nm分解能、耐荷重10Nの高速ピエゾステージ
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P-611.1ピエゾナノポジショナー
低価格で、設置面積わずか44 x 44mmのコンパクトな、リニアポジショニングシステム
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0.1nm分解能 ナノポジショナ P-620.1/629.1
1軸50〜1800 µmのストロークのタイプ、静電容量センサーで高分解能動作
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開口50 mmマルチ軸ピエゾスキャナ P-517/527
摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造—XY軸、XYZ軸、XYθz軸動作が可能
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P-734 XY ピエゾスキャナ
振れを極限まで抑える、センター開口部付き高ダイナミックシステム。100 x 100μmのリニアストロークを実現します。
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P-611.XZ・P-611.2 XZおよびXZナノポジショナー
ナノポジショニングのためのコンパクトな2軸ピエゾシステム。設置面積44x44mmのフレクシャガイドナノポジショニングシステム
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XYZ軸300µm動作 精密位置決めステージ P-561~563
66 mm開口×XYZ軸最大300 µmをナノオーダーで精密位置決め
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P-611.ZピエゾZステージ
コンパクトナノポジショナー。クローズドループストローク100μmを特徴とする、ピエゾベースのナノポジショニングシステムです。
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Z・チップ・チルト開口部付ピエゾステージ P-5x8
ナノレベル動作量はZ軸100µmと200µm チップチルト軸1mradと2mradのタイプ 66mm開口で透過光にも最適
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サブナノZ軸ナノポジショナ P-620.Z~P-622.Z
0.1 nm分解能×0.02 %直線性。50-250 µmを摩擦ゼロで高速サーボ制御
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S-330ピエゾチップ/チルトプラットフォーム
高ダイナミック、大動作角のピエゾチップ/チルトプラットフォームにより高速のステアリングミラーが可能。
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PIglide 直動エアベアリングステージ『A-110』
スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ
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PIMag リニアモーターコントローラ『C-413』
PIMagボイスコイル駆動のためのデジタルモーションコントローラ。幅広いサポート機能が搭載
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高推力PICMAWalkアクチュエータ N-331
最大速度12 mm/s、50 Nの駆動力、ナノ位置決め動作の組込みアクチュエータ
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XYZ軸ピエゾステージ 100×100×100 µm P-616
各40mmサイズで、XYZ軸100µm動作のコンパクトXYZピエゾステージ
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~70mradのチップ/チルトピエゾプラットフォーム S-335
±5 mrad×3 ms収束、10 kHz共振――0.1 µrad分解能の高速ビームステア
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PILine XYステージ『U-723』
ピエゾモータ駆動により22mm動作の小型XY軸ステージ セルフロックで位置保持
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