サブナノZ軸ナノポジショナ P-620.Z～P-622.Z
0.1 nm分解能×0.02 %直線性。50-250 µmを摩擦ゼロで高速サーボ制御
PIHera P-620.Z／P-621.Z／P-622.Zは、垂直ストローク50・100・250 µmを0.1 nm分解能で駆動するZ軸ピエゾステージです。 静電容量センサが移動プラットフォームを直接計測し、リニア誤差を0.02 %に抑制。 ゼロバックラッシのフレクシャガイドは潤滑不要・発塵レスで、1 kHz級共振周波数とサブミリ秒応答を実現します。 アクチュエータはオールセラミック絶縁PICMA(R)で1000億サイクルの長寿命を実証済み。 干渉計、共焦点顕微鏡、半導体検査などサブナノ安定性と高速性を同時に求める装置のZ制御に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
基本情報
・垂直ストローク：50～400μm ・高精度、低コスト ・0.1nmの分解能 ・静電容量センサーを内蔵 ・0.02%の位置決め精度 ・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ・X、XY、Z、XYZバージョン ・真空対応バージョンも用意 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
価格情報
****** お気軽にお問い合わせください
納期
型番・ブランド名
P-620.Z－P-622.Z PIHera(TM)高精度ステージ
用途／実績例
応用例 ・干渉計 ・顕微鏡検査 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・品質保証試験 ・半導体技術
カタログ（3）
カタログをまとめてダウンロード
取り扱い会社
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。
